고급 정전척 표면 처리

그만큼정전척반도체 제조 분야에서 균일한 정전기 방전, 열전도, 웨이퍼 흡착 및 고정 등 다양한 기능을 수행합니다. ESC의 핵심 기능 중 하나는 고진공, 강한 플라즈마, 넓은 온도 범위 등 극한의 작동 조건에서 웨이퍼를 안정적으로 흡착하는 것입니다.

실제로 성능을 결정하는 것은 외부 구조나 모재 공식이 아니라 표면 처리 공정입니다. 전문적인 표면 처리가 없으면 작동 중에 다음과 같은 문제가 발생합니다.

1. 플라즈마 침식 및 금속 이온 오염

보호되지 않은 세라믹 표면은 에칭 또는 CVD 공정 설정에서 플라즈마 침식에 취약합니다. 이러한 유형의 침식은 금속 이온의 방출이나 세라믹 입자의 이탈을 직접적으로 초래하여 웨이퍼를 오염시킬 수 있습니다.

2. 불균일한 열전도율 및 변형 변형

표면이 거칠거나 처리가 불량하면 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 접촉이 고르지 않게 됩니다.ESC, 열 전도를 방해하고 CD 균일성에 영향을 미칩니다.

3. 불안정한 정전기 흡착

정전척의 표면 절연 성능이나 전도성을 부정확하게 제어하면 흡착력이 부족하거나 흡착량이 과도해지기 쉬우며, 궁극적으로 웨이퍼 가공 수율에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다.

고급 ESC의 표면은 종종 복합 다층 구조 설계를 채택하여 코팅을 통해 기능 영역을 정밀하게 조절하여 진정한 고성능 통합을 달성합니다.

고급 ESC의 일반적인 표면 처리 기술:

1. 불소수지 비점착 코팅(PTFE, PFA 등)

이러한 종류의 코팅은 표면 자유 에너지가 낮아 포토레지스트 잔류물의 흡착을 효과적으로 방지하므로 저온 공정 환경에 특히 적합합니다.

2. 다이아몬드 유사 탄소(DLC) 코팅

경도가 높고 내플라즈마성이 있으며 마찰계수가 낮기 때문에 식각 장비의 침식 방지 및 입자 박리 방지 용도에 적합합니다.

3. PVD 전도성 세라믹 필름(예: CrSiN 및 TiN)

이러한 코팅은 특정 영역에 안정적인 전도성 경로를 구축할 수 있으며, 표면 전하의 균일한 방전을 정밀하게 제어함으로써 국부적인 전하 축적 문제를 효과적으로 방지할 수 있습니다.

4.복합 열전도 코팅(다이아몬드 분말, 불소중합체 하이브리드 코팅 등)

이러한 종류의 코팅은 비접착성 품질과 열 전도성을 결합하며 전반적인 성능은 고정밀 열 제어 ESC의 적용 요구 사항과 정확하게 일치할 수 있습니다.