포커스 링의 기능은 무엇입니까?

포커스 링은 반도체 식각 공정의 균일성과 안정성을 보장하는 필수 구성 요소입니다. 전기장과 열장의 정밀한 제어를 통해 포커스 링은 플라즈마를 웨이퍼 표면에 집중시켜 웨이퍼의 모든 위치에서 일관된 에칭 결과를 보장합니다.

초점 링의 기능

1. 에칭 균일성 향상

에칭 공정에서 포커스 링은 플라즈마를 표면에 집중시킬 수 있습니다.웨이퍼이는 웨이퍼 가장자리와 중앙 영역 모두에서 균일한 플라즈마 밀도, 이온 충격 각도 및 에너지 수준을 효과적으로 보장합니다. 웨이퍼 가장자리의 전기장 분포를 수정하여 에칭 속도, 임계 치수 및 가장자리 효과로 인한 형태 변형을 줄여 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 에칭 일관성을 보장합니다. 포커싱 링이 과도하게 마모되거나 초점 링이 없으면 플라즈마가 웨이퍼 가장자리에서 확산되어 궁극적으로 가장자리와 중앙 영역 사이의 선폭에 부적합한 편차가 발생합니다.

2. 정전기척 보호

포커스 링은 일반적으로 정전기 척의 웨이퍼 캐리어 표면 외부에 설치되어 플라즈마 충격과 부식에 직접 노출됩니다. 이 설치 설정은 에칭 공정 중에 플라즈마가 정전 척과 접촉하는 것을 방지하는 물리적 장벽 역할을 하여 플라즈마 손상 위험을 크게 줄입니다. 또한 포커스 링은 에칭 공정에서 생성된 부산물이 정전 척에 달라붙는 것을 방지하여 척 오염 및 막힘으로 인한 성능 저하를 방지할 수 있습니다. 이를 통해 정전 척의 유지 관리 주기와 수명이 크게 연장되어 장비 유지 관리 및 교체 비용이 절감됩니다.

포커스 링은 일반적으로 고순도 재료로 만들어집니다.석영, 규소그리고탄화규소재료. 탁월한 종합 성능 덕분에 실리콘 카바이드 소재는 점차 최첨단 에칭 공정의 주류 옵션이 되었습니다. 중국에서 신뢰받는 반도체 포커스 링 공급업체인 Semicorex는 고품질의 포커스 링을 제공합니다.실리콘 카바이드 포커스 링에칭 장비의 다양한 요구 사항에 맞게 다양한 크기로 제공됩니다. 세미코렉스는 언제든지 여러분의 문의와 구매를 환영합니다.