캔틸레버 패들이란 무엇입니까?

반도체 웨이퍼 처리 중에는 웨이퍼를 가열하기 위해 특수 용해로가 사용됩니다. 이러한 용광로에는 웨이퍼가 미리 결정된 등거리 위치의 웨이퍼 보트에 배치되는 긴 원통형 튜브가 포함되어 있습니다. 처리 장비가 웨이퍼를 낭비하지 않고 챔버 내 처리 조건을 견딜 수 있도록 웨이퍼 처리에 사용되는 웨이퍼 보트 및 기타 장치는 탄화 규소(SiC)와 같은 재료로 제작됩니다.

처리할 웨이퍼 묶음이 적재된 웨이퍼 보트는 긴 캔틸레버식 패들 위에 위치합니다. 이 패들은 관형로 및 반응로에 삽입하거나 빼낼 수 있습니다. 패들은 하나 이상의 보트를 수용할 수 있는 평평한 캐리어 섹션과 쉽게 다룰 수 있도록 평평한 캐리어 섹션의 한쪽 끝에 위치한 긴 손잡이로 구성됩니다.

반도체 공정에서 최고의 부품을 얻으려면 CVD SiC 박층을 갖춘 재결정화된 탄화규소로 만든 캔틸레버 패들을 사용하는 것이 좋습니다. 이 재료는 순도가 높으며 이러한 구성 요소에 가장 적합한 선택입니다.

Semicorex는 고품질 CVD SiC 코팅으로 맞춤형 캔틸레버 패들을 제작합니다. 문의사항이 있거나 추가 세부정보가 필요한 경우, 주저하지 마시고 연락주시기 바랍니다.

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