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SiC 코팅 흑연 서셉터란 무엇입니까?

2023-09-14

SiC 웨이퍼를 지지하는 트레이(베이스), 일명 "장의사,"는 반도체 제조 장비의 핵심 부품입니다. 그리고 웨이퍼를 운반하는 이 서셉터는 과연 무엇일까요?


웨이퍼 제조 과정에서 기판은 장치 제조를 위한 에피택셜 층으로 추가로 구축되어야 합니다. 전형적인 예는 다음과 같습니다LED 이미터, 실리콘 기판 위에 GaAs 에피택셜 층이 필요합니다. 전도성 SiC 기판에서 SiC 에피택셜 층은 고전압 및 고전류 애플리케이션에 사용되는 SBD 및 MOSFET과 같은 장치용으로 성장됩니다. ~에반절연 SiC 기판, GaN 에피택셜 레이어는 통신과 같은 RF 애플리케이션에 사용되는 HEMT와 같은 장치를 구성하기 위해 제작되었습니다. 이 공정은 CVD 장비에 크게 의존합니다.


CVD 장비에서는 가스 흐름 방향(수평, 수직), 온도, 압력, 안정성, 오염 물질 제거 등 다양한 영향 요인이 영향을 미치기 때문에 기판을 금속이나 간단한 에피택시 증착용 베이스 위에 직접 놓을 수 없습니다. 따라서 CVD 기술을 사용하여 기판에 에피택셜 층을 증착하기 전에 기판을 배치할 베이스가 필요합니다. 이 베이스는 다음과 같이 알려져 있습니다.SiC 코팅 흑연 수신기(베이스/트레이/캐리어라고도 함)

SiC 코팅 흑연 서셉터는 단결정 기판을 지지하고 가열하기 위해 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 장비에 일반적으로 사용됩니다. SiC 코팅 흑연 서셉터의 열 안정성과 균일성은 에피택셜 재료 성장의 품질을 결정하는 데 중요한 역할을 하며 MOCVD 장비의 중요한 구성 요소가 됩니다.


MOCVD 기술은 현재 청색 LED 생산에서 GaN 박막 에피택시를 성장시키는 주류 기술입니다. 이는 간단한 조작, 제어 가능한 성장 속도 및 생산된 GaN 박막의 높은 순도와 같은 이점을 제공합니다. GaN 박막 에피택셜 성장에 사용되는 서셉터는 MOCVD 장비 반응 챔버 내부의 중요한 구성 요소로 높은 온도 저항, 균일한 열 전도성, 우수한 화학적 안정성 및 강한 열충격 저항성을 가져야 합니다. 흑연 재료는 이러한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

흑연 서셉터는 MOCVD 장비의 핵심 구성 요소 중 하나이며 기판 웨이퍼의 캐리어 및 열 방출기 역할을 하며 박막 재료의 균일성과 순도에 직접적인 영향을 미칩니다. 결과적으로 품질은 Epi-Wafer 준비에 직접적인 영향을 미칩니다. 그러나 생산 과정에서 흑연은 부식성 가스와 잔류 금속 유기 화합물로 인해 부식 및 분해되어 흑연 서셉터의 수명을 크게 단축시킬 수 있습니다. 또한 떨어진 흑연 분말은 칩을 오염시킬 수 있습니다.


코팅 기술의 출현은 표면 분말의 고착, 강화된 열 전도성, 균형 잡힌 열 분포를 제공함으로써 이러한 문제에 대한 해결책을 제공합니다. MOCVD 장비 환경에서 사용되는 흑연 서셉터 표면의 코팅은 다음과 같은 특성을 가져야 합니다.


1. 흑연 서셉터는 부식성 가스 환경에서 부식되기 쉽기 때문에 흑연 베이스를 좋은 밀도로 완전히 둘러싸는 능력이 있습니다.

2. 흑연 서셉터와의 강력한 결합으로 여러 번의 고온 및 저온 사이클 후에도 코팅이 쉽게 분리되지 않습니다.

3. 화학적 안정성이 뛰어나 고온 및 부식성 환경에서 코팅이 무효화되는 것을 방지합니다. SiC는 내식성, 높은 열 전도성, 열충격에 대한 저항성, 높은 화학적 안정성과 같은 장점을 갖고 있어 GaN 에피택셜 분위기에서 작업하는 데 이상적입니다. 또한 SiC의 열팽창 계수는 흑연의 열팽창 계수와 매우 유사하므로 흑연 서셉터 표면 코팅에 선호되는 재료입니다.



Semicorex는 CVD SiC 코팅 흑연 서셉터를 제작하여 웨이퍼 보트, 캔틸레버 패들, 튜브 등과 같은 맞춤형 SiC 부품을 생산합니다. 문의 사항이 있거나 추가 세부 정보가 필요한 경우 주저하지 말고 당사에 문의하십시오.


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