단열재

단결정 실리콘 성장 과정은 열 환경의 품질이 결정 품질과 성장 효율에 큰 영향을 미치는 열장 내에서 주로 발생합니다. 열장의 설계는 용광로 챔버 내에서 온도 구배와 가스 흐름 역학을 형성하는 데 중추적인 역할을 합니다. 또한 열장을 구성하는 데 사용되는 재료는 수명과 성능에 직접적인 영향을 미칩니다.

열전계 설계의 중요성

잘 설계된 열장은 반도체 용융 및 결정 성장에 적절한 온도 분포를 보장하여 고품질 단결정 실리콘 생산을 촉진합니다. 반대로, 부적절하게 설계된 열장은 결정이 품질 요구 사항을 충족하지 못하거나 경우에 따라 완전한 단결정의 성장을 방해합니다.

열전계 재료 선택

열장 재료는 결정 성장로 챔버 내의 구조 및 절연 구성 요소를 나타냅니다. 일반적으로 사용되는 단열재로는탄소 펠트, 얇은 섬유로 구성되어 열복사를 효과적으로 차단하여 단열 효과를 제공합니다.카본 펠트일반적으로 얇은 시트 모양의 재료로 짜여진 다음 원하는 모양으로 자르고 합리적인 반경에 맞게 구부러집니다.

널리 사용되는 또 다른 단열재는 유사한 섬유로 구성되어 있지만 분산된 섬유를 보다 견고하고 구조화된 형태로 통합하기 위해 탄소 함유 바인더를 사용하는 경화 펠트입니다. 바인더 대신 탄소의 화학 기상 증착을 사용하면 재료의 기계적 특성을 더욱 향상시킬 수 있습니다.

열장 구성 요소 최적화

일반적으로 단열 경화 펠트는 연속적인 흑연 층으로 코팅되거나박침식, 마모 및 미립자 오염을 줄이기 위해 외부 표면에. 탄소 폼과 같은 다른 유형의 탄소 기반 단열재도 존재합니다. 일반적으로 흑연화 재료는 표면적이 크게 줄어들어 가스 방출이 감소하고 용광로에서 적절한 진공 수준을 달성하는 데 필요한 시간이 단축되므로 선호됩니다. 또 다른 대안은C/C 복합재가볍고, 높은 손상 내성과 강도로 유명한 소재입니다. 흑연 성분을 다음으로 대체C/C 복합재열 분야에서는 흑연 부품 교체 빈도를 크게 줄여 단결정 품질과 생산 안정성을 향상시킵니다.