SiC 결정 성장을 위한 다공성 흑연

현재 대부분의 SiC 기판 제조업체는 다공성 흑연 실린더를 사용하는 새로운 도가니 열장 공정 설계를 사용합니다. 즉, 흑연 도가니 벽과 다공성 흑연 실린더 사이에 고순도 SiC 입자 원료를 배치하는 동시에 전체 도가니를 깊게 하고 도가니 직경을 늘립니다. 장점은 충전량이 증가하는 동시에 원료의 증발 면적도 증가한다는 것입니다. 새로운 공정은 원료 표면에서 성장이 진행됨에 따라 원료 상부의 재결정으로 인해 발생하는 결정 결함이 승화 물질 플럭스에 영향을 미치는 문제를 해결합니다. 또한 새로운 공정은 결정 성장에 대한 원료 영역의 온도 분포 민감도를 줄이고, 물질 전달 효율을 개선 및 안정화하며, 성장 후기 단계에서 탄소 함유물의 영향을 줄이고, SiC 결정의 품질을 더욱 향상시킵니다. 새로운 공정은 또한 종자 결정에 달라붙지 않는 무종자 결정 지지 고정 방법을 사용하여 자유로운 열팽창을 허용하고 응력 완화에 도움이 됩니다. 이 새로운 공정은 열장을 최적화하고 직경 확장 효율성을 크게 향상시킵니다.

이 새로운 공정으로 얻은 SiC 단결정의 품질과 수율은 도가니 흑연과 다공성 흑연의 물리적 특성에 크게 좌우됩니다. 고성능 다공성 흑연에 대한 긴급한 수요는 다공성 흑연을 극도로 비싸게 만들 뿐만 아니라 시장에서 심각한 부족 현상을 초래합니다.

기본 성능 요구 사항다공성 흑연

(1) 적절한 기공 크기 분포;

(2) 다공성이 충분히 높다.

(3) 가공 및 사용 요구 사항을 충족하는 기계적 강도.

Semicorex는 고품질을 제공합니다.다공성 흑연부속. 문의사항이 있거나 추가 세부정보가 필요한 경우, 주저하지 마시고 연락주시기 바랍니다.

전화번호 +86-13567891907에 문의하세요.

이메일: sales@semicorex.com