SiC 보트란 무엇이며 다양한 제조 공정은 무엇입니까?

1. 다양한 제조 공정SiC 보트

(1) 코팅SiC 필름흑연 표면에크리스탈 보트CVD를 통해

이 유형의 보트에는 일체형으로 가공된 흑연 코어가 있습니다. 하지만,흑연은 다공성이다입자가 발생하기 쉬우므로 적용이 필요합니다.SiC 필름 코팅표면에. 흑연 몸체와 흑연 몸체 사이의 열팽창 계수(CTE) 불일치로 인해SiC 필름, 여러 번의 가열 및 냉각 주기 후에 코팅이 벗겨져 입자 오염이 발생할 가능성이 있습니다. 이 보트는 가장 저렴하며 수명은 약 1년입니다.

(2) 코팅SiC 필름재결정에SiC 크리스탈 보트

재결정SiC 보트또한 다공성이어서 쉽게 입자를 생성할 수 있습니다. 따라서 재결정화된 개별 성분은SiC 보트미리 성형하고 소결한 다음 별도로 가공해야 합니다. 그 후, Si 페이스트를 사용하여 부품을 고온에서 서로 접착합니다. 하나의 보트로 조립되면,SiC 필름CVD를 통해 적용됩니다. 이는 재결정된SiC 보트제조 공정이 가장 길고 비용이 많이 들지만 표면이CVD 코팅또한 손상될 ​​수 있으며 수명은 약 3년입니다.

(삼)단단히 짜여 하나로 되어 있는SiC 크리스탈 보트

이것들보트전체가 SiC 소재로 구성되어 있습니다. SiC 분말은 모놀리식 보트 모양으로 성형 및 소결되어야 합니다. 가격이 매우 비싸고 내구성이 뛰어나며 입자가 발생할 가능성이 적습니다. 그러나 이러한 보트에는 10~15%의 유리 실리콘이 포함되어 있어 불소와 염소에 의해 부식되어 입자 오염을 일으킬 수 있습니다.

2. 드라이클리닝을 권장하지 않는 이유는 무엇입니까?

요약하자면,SiC 보트코팅된CVD를 통한 SiC 필름, 표면 코팅은 드라이 클리닝 중에 벗겨지기 쉽고 이로 인해 입자 오염이 발생합니다. 모놀리식의 경우SiC 보트소량의 유리 실리콘을 함유한 가스는 불소나 염소를 함유한 가스에 노출되면 침식 및 입자 생성으로 이어져 오염을 일으킬 수 있습니다.**