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에피택셜 레이어의 애플리케이션 시나리오

2023-05-03

실리콘 기판 위에 GaAs 에피택셜층이 필요한 디바이스, 일반적으로 LED 발광 디바이스를 제조하기 위해 일부 웨이퍼 기판 위에 추가 에피택셜층을 구축해야 한다는 것을 알고 있습니다. SiC 에피택셜 층은 고전압, 고전류 및 기타 전력 응용 분야를 위한 SBD, MOSFET 등과 같은 장치를 구축하기 위해 전도성 SiC 기판 위에 성장합니다. GaN 에피택셜 레이어는 HEMT 및 기타 RF 애플리케이션 구축을 위해 반절연 SiC 기판 위에 구축됩니다. GaN 에피택셜 레이어는 반절연 SiC 기판 위에 구축되어 통신과 같은 RF 애플리케이션을 위한 HEMT 장치를 추가로 구성합니다.

 

여기에서 사용할 필요가 있습니다.CVD 장비(물론 다른 기술적 방법이 있습니다). 금속유기화학기상증착법(MOCVD)은 III족과 II족 원소와 V족과 VI족 원소를 원료로 하여 열분해 반응에 의해 기판 표면에 증착시켜 III-V족(GaN, GaAs 등), Group II-VI(Si, SiC 등) 및 여러 고용체. 얇은 단결정 재료의 다층 고체 용액은 광전자 장치, 마이크로파 장치, 전력 장치 재료를 생산하는 주요 수단입니다.