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MOCVD가 핵심 장비

2023-05-18

MOCVD 장비는 반도체 산업 생산 공정의 핵심 장비이지만 반도체 산업 체인(3대 핵심 공정 및 장비: 리소그래피, 식각, 박막 증착), LED 생산 라인 투자, MOCVD 장비 투자의 큰 부분을 차지합니다. 투자 금액은 최대 50%를 차지할 수 있습니다. CVD 장비는 기체의 흐름 방향(수평, 수직), 온도, 압력, 고정 등 다양한 요인의 영향을 받기 때문에 기판을 금속 위에 직접 놓거나 단순히 에피택셜 증착을 위한 베이스 위에 놓을 수 없다. , 오염물질 배출. 따라서 베이스를 사용하고 기판을 디스크 위에 놓은 다음 CVD 기술을 사용하여 기판 위에 에피택셜 증착을 수행합니다. 이 베이스는 SiC 코팅된 흑연입니다.서셉터(이것은 a라고도 할 수 있습니다.담체), 그 구조는 아래 그림과 같습니다.