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SiC 에피텍셜의 공정은 무엇입니까?

2023-05-26

고전압 분야, 특히 20,000V 이상의 고전압 장치의 경우,SiC 에피택셜기술은 여전히 ​​몇 가지 문제에 직면해 있습니다. 주요 어려움 중 하나는 에피택셜 층에서 높은 균일성, 두께 및 도핑 농도를 달성하는 것입니다. 이러한 고전압 소자를 제작하기 위해서는 균일도와 농도가 우수한 200um 두께의 탄화규소 에피 웨이퍼가 필요하다.

 

그러나 고전압 소자용 SiC 박막을 후막으로 생산할 경우 수많은 결함, 특히 삼각형 결함이 발생할 수 있습니다. 이러한 결함은 고전류 장치 준비에 부정적인 영향을 미칠 수 있습니다. 특히 대면적 칩을 사용하여 고전류를 발생시키는 경우 전자나 정공과 같은 소수 캐리어의 수명이 크게 줄어듭니다. 캐리어 수명의 이러한 감소는 고전압 응용 분야에서 일반적으로 사용되는 바이폴라 장치에서 원하는 순방향 전류를 달성하는 데 문제가 될 수 있습니다. 이러한 장치에서 원하는 순방향 전류를 얻으려면 소수 캐리어 수명이 5마이크로초 이상이어야 합니다. 그러나 일반적인 소수 반송파 수명 파라미터는SiC 에피택셜웨이퍼는 약 1~2마이크로초입니다.

 

따라서 비록SiC 에피택셜공정이 성숙기에 이르렀고 저전압 및 중전압 응용 분야의 요구 사항을 충족할 수 있으므로 고전압 응용 분야의 문제를 극복하기 위해서는 추가적인 발전과 기술적 처리가 필요합니다. 두께 및 도핑 농도의 균일성 향상, 삼각형 결함 감소 및 소수 캐리어 수명 향상은 고전압 장치에서 SiC 에피택셜 기술을 성공적으로 구현하기 위해 주의와 개발이 필요한 영역입니다.