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P형 SiC 웨이퍼란?

2023-06-08

A P형 실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼불순물이 도핑되어 P형(양극성) 전도성을 생성하는 반도체 기판입니다. 실리콘 카바이드는 뛰어난 전기적 및 열적 특성을 제공하는 와이드 밴드갭 반도체 소재로, 고전력 및 고온 전자 장치에 적합합니다.

 

SiC 웨이퍼와 관련하여 "P형"은 재료의 전도성을 수정하는 데 사용되는 도핑 유형을 의미합니다. 도핑은 전기적 특성을 변경하기 위해 의도적으로 반도체의 결정 구조에 불순물을 도입하는 것을 포함합니다. P형 도핑의 경우 알루미늄이나 붕소 등 실리콘(SiC의 기본 소재)보다 원자가 전자 수가 적은 원소를 도입한다. 이러한 불순물은 결정 격자에 "구멍"을 만들어 전하 캐리어로 작용하여 P형 전도도를 생성합니다.

 

P형 SiC 웨이퍼는 MOSFET(금속 산화물 반도체 전계 효과 트랜지스터), 쇼트키 다이오드 및 BJT(양극 접합 트랜지스터)와 같은 전력 장치를 비롯한 다양한 전자 부품 제조에 필수적입니다. 이들은 일반적으로 고급 에피택셜 성장 기술을 사용하여 성장하며 다양한 응용 분야에 필요한 특정 장치 구조 및 기능을 만들기 위해 추가로 처리됩니다.