고순도 석영: 반도체 산업에 없어서는 안 될 소재

고순도 석영은 놀라운 물리적, 화학적 특성을 가지고 있습니다. 고유한 결정 구조, 모양 및 격자 변화는 고온 저항, 내식성, 내마모성, 낮은 열팽창 계수, 높은 절연성, 압전 효과, 공진 효과 및 고유한 광학 특성과 같은 탁월한 특성에 기여합니다. 이러한 특성은 전략 산업과 핵심 산업의 발전을 위한 대체할 수 없는 기초 자료가 됩니다.

고순도 석영의 응용 분야는 반도체, 광전지, 광섬유, 전기 광원 등 다양한 분야에 걸쳐 있습니다. 이 중 반도체 산업이 전체 사용량의 50%를 차지할 정도로 가장 큰 비중을 차지하고 있다.

반도체 제조의 중심에는 업계에서 가장 높은 부가가치를 창출하는 부문인 칩 제조가 있습니다. 칩 제조는 주로 단결정 성장, 웨이퍼 처리 및 제조, 집적 회로(IC) 생산, 패키징의 4단계로 구성됩니다. 특히 재료 요구 사항 측면에서 가장 중요하고 복잡하며 까다로운 단계는 실리콘 웨이퍼 제조 및 웨이퍼 처리입니다.

탁월한 열 안정성, 내산성, 낮은 열팽창 및 뛰어난 분광 투과율을 갖춘 고순도 석영 소재는 캐리어 소재의 알칼리 금속 및 중금속 함량과 관련된 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 완벽하게 해결합니다. 생산 공정에는 웨이퍼, 링, 플레이트, 플랜지, 에칭 보트, 확산로 튜브 및 세척 탱크를 포함하여 상당한 양의 고품질 석영 부품이 필요합니다.

다양한 반도체 준비 단계에 사용되는 고순도 석영

실리콘 웨이퍼 제조에 적용

석영 유리의 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.실리콘 웨이퍼 제조의 생산에 있다석영 도가니, 웨이퍼 제조용 단결정 실리콘 잉곳을 성장시키는 데 사용되는 CZ(초크랄스키 공정)에 필수적입니다. 또한 석영 세척 용기도 활용됩니다.

세미코렉스 융합된 석영 도가니

웨이퍼 처리에 적용

웨이퍼 가공 중에는 다음과 같은 다양한 처리가 이루어집니다.산화, 에피택시, 리소그래피, 에칭, 확산, 화학 기상 증착(CVD), 이온 주입 및 연마 실리콘 웨이퍼에서 수행됩니다.. 고순도 석영 유리는 순도, 고온 저항, 낮은 열팽창 및 내부식성으로 인해 이러한 공정에서 중요한 역할을 합니다.

1)확산과 산화: 석영 유리 확산관석영 플랜지와 함께 이러한 공정에 광범위하게 사용됩니다. 기타 주요 구성요소는 다음과 같습니다.석영로 튜브(운반을 위해석영 보트용광로 안팎), 석영 보트(실리콘 웨이퍼 운반용) 및 석영 보트 랙. 이 중,석영 유리 확산 튜브IC 품질, 비용 및 생산 효율성에 직접적인 영향을 미치는 순도, 고온 변형 저항 및 정밀한 형상이 가장 중요합니다.

석영 보트랙은 확산, 산화, CVD 및 어닐링 공정에서 실리콘 웨이퍼의 필수 캐리어 역할을 합니다. 이러한 구성 요소는 다양한 사양과 크기로 제공되며 일반적으로 수평 및 수직 구성으로 제공됩니다. 고온에서 실리콘 웨이퍼와 직접 접촉하려면 이러한 부품에 대한 열 안정성과 치수 정확도가 뛰어난 고순도 석영 유리를 사용해야 합니다.

확산로용 Semicorex 석영 부품

2)에칭 및 청소:에칭 공정에는 부식 방지 석영 유리 재료와 부품이 필요하므로 석영 링, 석영 유리 반응 챔버 및 웨이퍼 지지대에 대한 수요가 높습니다. 또한 산 세척 및 초음파 세척 단계에서는 각각 석영 유리 바구니와 세척 탱크를 사용하여 재료의 탁월한 화학적 안정성을 활용합니다. 석영 종병은 실리콘의 에피택셜 성장 중에도 사용됩니다.

3)포토리소그래피:고순도 석영 유리는 포토리소그래피 공정의 중요한 구성 요소인 포토마스크의 기본 기판 재료로 사용됩니다. Qingyi Photomask의 사업설명서 데이터에 나타난 바와 같이 이러한 기판의 조달 비용은 포토마스크의 총 원자재 비용의 90%를 차지합니다. LCD, 반도체, 기타 전자 장치 제조 과정에서 회로 패턴을 전사하는 고정밀 도구인 포토마스크는 최종 제품의 정밀도와 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. 이로 인해 포토마스크 기판의 기본 재료로 초고순도 합성 석영 유리 잉곳을 사용해야 합니다.

결론적으로, 고순도 석영이 나타내는 독특한 특성의 조합은 반도체 산업에서 없어서는 안 될 소재로서의 입지를 확고히 했습니다. 기술이 발전하고 소형화 및 성능에 대한 요구가 증가함에 따라 고품질 석영 소재에 대한 의존도는 더욱 커질 것으로 예상되며, 전자 제품의 미래를 형성하는 데 있어 석영 소재의 중요한 역할은 더욱 강화될 것으로 예상됩니다.**

Semicorex는 경험이 풍부한 제조업체 및 공급업체로서 반도체 및 태양광 산업을 위한 고순도 석영 소재를 제공합니다. 문의사항이 있거나 추가 세부정보가 필요한 경우, 주저하지 마시고 연락주시기 바랍니다.

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