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캔틸레버 패들이란 무엇입니까?

처리할 웨이퍼 묶음이 적재된 웨이퍼 보트는 긴 캔틸레버식 패들 위에 위치합니다.

3C-SiC 웨이퍼 생산 시작

최근 측정된 벌크 3C-SiC의 열전도도는 인치 크기의 대형 결정 중에서 다이아몬드 바로 아래 순위에서 두 번째로 높습니다. 실리콘 카바이드(SiC)는 전자 응용 분야에서 광범위하게 사용되는 넓은 밴드갭 반도체이며 다형으로 알려진 다양한 결정 형태로 존재합니다. 국부적으로 높은 열 플럭스를 관리하는 것은 장치 과열과 장기적인 성능 및 신뢰성 문제로 이어질 수 있으므로 전력 전자 장치에서 중요한 과제입니다.

Semicorex, 8인치 SiC 에피택셜 웨이퍼 발표