PBN 복합 히터

Semicorex PBN 복합 히터는 화학적 불활성 및 질화 붕소의 화학적 불활성 및 전기 절연과 열전 전도도를 병합합니다. 이 히터는 고순도 증착 조건 하에서 고품질 CVD (화학 증기 증착) 공정을 사용하여 적용되는 매우 고순도 흑연 및 PBN으로 제작됩니다. 각각의 개별 성취도는 매우 높은 순도와 일관된 열 특성을 보장하기 위해 매우 극단적 인 제어 성으로 증착되었습니다. 전체적으로 빠르고 균일 한 가열을 제공하는 흑연 코어는 PBN 캡슐에 의한 산화 및 오염으로부터 보호됩니다. 이로 인해 히터는 진공 가스 환경과 불활성 가스 환경에 이상적입니다. 이 PBN 히터는 의도적으로 MBE (분자 빔 에피 택시) 반응기, CVD 반응기 및 기타 결정 성장 시스템에 사용하도록 설계되었습니다.

불분해 붕소 질산염-피분자형 흑연 (PBN-PG) 복합 히터는 고압 PBN을 기판으로 사용하고 저압 (10TORR 미만) 및 고온에서 고압에서 저압 열분 화학 증기 증착 (CVD)을 사용하는 히터입니다. 이 복합 히터의 주요 성분은 질화 붕소 (PBN) 및 열분해 흑연 (PG)입니다. 우수한 내식성 및 고온 저항으로 인해 주로 반도체 기판 가열 (MBE, MOCVD, 스퍼터링 코팅 등)에 사용됩니다. 초전도체 기질 가열; 샘플 분석 중 샘플 가열; 전자 현미경 샘플 가열; 금속 가열; 금속 증발 가열원 등

PBN 히터는 진공 상태에서 최대 1600 ° C의 작동 온도를 견딜 수 있으며 의존 할 금속 기반 대안에 비해 열 충격을 견딜 수있는 능력이 향상 될 수 있습니다. 히터의 표면은 매우 매끄럽고 밀도가 높으며 작동 중에 입자가 상당히 적습니다. 이는 반도체 웨이퍼 처리와 같이 오염을 허용 할 수없는 응용 분야에 중요합니다.

복합 구조는 히터 표면에 걸쳐 우수한 열 균일 성을 제공하며, 저항 경로는 맞춤형 열 분포를 허용하도록 사용자 정의 할 수 있습니다. 이 설계는 중고 재료의 동일한 열 팽창 계수로 인해 균열 및 박리없이 처리 중에 빠른 램프 업 및 쿨 다운 사이클을 가능하게합니다. 전극은 지속적인 고전류 작동을 견딜 수 있으며 진공에서도 호환됩니다.

Semicorex는 특정 응용 프로그램 요구를 충족시키기 위해 필요한 경우 고유 한 모양, 크기 및 전력 요구 사항에 대한 무제한 설계 유연성을 제공합니다. 표준 웨이퍼 크기 또는 더 복잡한 형상이든, 생산 된 모든 장치에서 치수 정확도와 열 균일 성을 보장합니다.

PBN 복합 히터는 다음을 포함한 초 고정 애플리케이션에 적합합니다.

• III-V 및 II-VI 화합물 반도체 처리를위한 MBE 시스템
• 광학 성분을위한 진공 코팅 시스템
• 사파이어와 SIC의 크리스탈 성장 시스템
• 연구 개발 실험실 환경을위한 고순도 열 처리.