PBN 히터

Semicorex pyrolytic 붕소 질화 붕소 PBN 히터는 매우 청소되고 화학적으로 안정하며 열 효율적인 재료가 필수적 인 애플리케이션을 요구하는 고급 고급 고성능 가열 성분입니다. 화학 증기 증착 (CVD) 공정을 통해 제조 된 PBN은 탁월한 열 전도도, 고온 저항성 및 뛰어난 화학적 불활성을 나타내므로 반도체 처리, 결정 성장 및 진공 응용 분야에 이상적인 선택이됩니다.

PBN 히터는 고도로 단열 된 PBN을 기판으로 사용하고 저압 열 분해 화학 증기 증착 (CVD)을 사용하여 전도성 PG를 저압 (10TORR 미만) 및 고온에서 코팅하는 히터입니다. 이 복합 히터의 주요 성분은 질화 붕소 (PBN) 및 열분해 흑연 (PG)입니다. 우수한 내식성 및 고온 저항으로 인해 주로 반도체 기판 가열 (MBE, MOCVD, 스퍼터링 코팅 등)에 사용됩니다. 초전도체 기질 가열; 샘플 분석 중 샘플 가열; 전자 현미경 샘플 가열; 금속 가열; 금속 증발 가열원 등

PBN은 부식성 가스에 불활성입니다. 순도가 높습니다 (99.99%이상); 대부분의 용융 금속과 젖거나 반응하지 않습니다 (스틱 팬의 특성이 있고 금속은 100%를 사용할 수 있습니다); 고온 저항이 양호합니다 (최대 작동 온도는 2000 ℃); 좋은 밀도; 우수한 열 충격 저항 및 기타 우수한 특성으로 인해 PBN-PG 복합 히터를 준비하는 데 이상적인 재료가됩니다. PG는 PBN 히터에서 1600 ℃ (불활성 대기 및 진공 상태)로 빠르게 가열 될 수있다. 동시에, PBN의 우수한 열전도율과 결합하여, 가열 표면은 우수한 열 균일 성을 갖는다. 관련 산업의 빠른 개발로 인해 PBN-PG 복합 히터에 대한 수요도 빠르게 증가했습니다.

PBN 히터는 특정 설계 및 통합 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 모양과 구성으로 제작할 수 있습니다. 일반적인 설계에는 평면 히터, 관형 히터 및 내장 또는 표면 장착 가열 요소가있는 맞춤형 형상이 포함됩니다. 가열 요소는 일반적으로 열성 흑연 (PG)으로 만들어지고 PBN으로 캡슐화되어 완전히 밀봉 된 전기적으로 절연하며 열 효율적인 구조를 제공합니다.