PECVD 태양광 흑연 보트

세미코렉스PECVD 태양광 흑연 보트고순도로 정밀하게 제작되었습니다.등방성 흑연. Semicorex의 각 PECVD 태양광 흑연 보트는 정밀 가공, 치수 검사 및 전기 성능 테스트를 거쳐 고온 플라즈마 환경에서 안정적인 성능을 보장합니다.

PECVD 처리 중에 PECVD 태양광 흑연 보트는 실리콘 웨이퍼를 PECVD 반응 챔버로 운반하고 RF 전원 공급 장치에 연결된 전극 역할을 합니다. 인접한 보트 플레이트 사이에 교류 전압이 가해지면 전기장이 형성됩니다. 전기장의 영향으로 반응성 가스(예: 실란 SiH₄ 및 암모니아 NH₃)가 글로우 방전을 거쳐 플라즈마를 생성합니다. 플라즈마 내의 이온과 자유 라디칼은 전구체 가스를 분해하여 실리콘(Si) 및 질소(N) 이온을 형성합니다. 이들 이온이 결합하여 질화규소(Si₃N₄) 분자를 형성하고, 이 분자가 실리콘 웨이퍼 표면에 증착되어 박막을 형성합니다.

1. 탁월한 열 안정성

실리콘 웨이퍼에 가까운 열팽창 계수를 지닌 SemicorxPECVD 태양광 흑연 보트가열 시 무시할 수 있는 치수 변화가 발생하여 열 응력으로 인한 웨이퍼 손상을 확실하게 방지합니다.

2. 우수한 전기 및 열 전도성

Semicorex PECVD 태양광 흑연 보트는 전기 전도성이 뛰어나 RF 전류의 빠른 전도와 균일한 전기장 분포를 보장하여 안정적인 플라즈마 생성과 균일한 실리콘 웨이퍼 증착에 유리합니다. 또한 우수한 열전도율로 신속한 냉각 및 가열이 가능해 생산 효율성이 향상되는 동시에 국부적인 과열이 증착 품질에 영향을 미치는 것을 방지합니다.

3. 강한 화학적 안정성

프리미엄급 소재를 사용함으로써 Semicorex PECVD 태양광 흑연 보트는 반응성 가스 및 플라즈마와 반응하는 경향이 적습니다. 이러한 특성은 흑연 보트의 부식, 변형 또는 불순물 증착으로 인한 불균일한 전계 분포를 크게 방지하여 증착 공정의 안정성과 실리콘 웨이퍼의 표면 품질을 보장합니다.

4. 기계적 강도가 우수하다.

탁월한 기계적 강도를 갖춘 Semicorex PECVD 태양광 흑연 보트는 대용량 웨이퍼 하중의 무게를 쉽게 처리할 수 있습니다. 쉽게 변형되거나 파손되지 않고 적재 및 운송 중에 발생하는 기계적 응력을 장기간 견딜 수 있습니다.

5. 우수한 치수 일관성

Semicorex PECVD 태양광 흑연 보트는 정밀 가공을 통해 모든 구성 요소에 걸쳐 탁월한 치수 정확도를 달성합니다. 증착 중에 실리콘 웨이퍼를 고정된 위치에 유지하여 균일한 증착과 자동화 생산과의 호환성을 보장합니다.