Semicorex PFA 웨이퍼 카세트는 습식 가공, 보관 및 운송 중 반도체 웨이퍼의 안전하고 오염이없는 취급을 보장하도록 설계된 고급 캐리어입니다. Semicorex를 선택하면 고급 제조 환경에서 신뢰성, 청결 및 장기 성능을 제공하는 우수한 PFA 재료 품질뿐만 아니라 정밀 엔지니어링이 보장됩니다.*
Semicorex PFA 웨이퍼 카세트는 고급 제조 응용 분야에서 반도체 웨이퍼를 안전하게 처리, 저장 및 전송하도록 설계된 엔지니어링 캐리어입니다. 이 카세트는 고순도 퍼플 루오로 알코시 (PFA) 중합체로 구성되며 습식 세정, 화학적 처리 및 웨이퍼 운송 응용 분야에 필요한 화학 저항, 열 안정성 및 기계적 내구성을 제시합니다. 웨이퍼는 반도체 제조 공정의 임계 웨이퍼 운송 단계에서 오염, 기계적 손상 및 화학 공격으로부터 보호됩니다.
이들 웨이퍼 카세트의 주요 물질로 PFA를 사용하는 것은 전통적인 중합체 담체와의 상당한 변화이다. PFA는 습식 공정 세정 단계 (즉, RCA Cleaning, SC1, SC2)에서 일반적으로 반도체 제조와 관련된 많은 공격적인 산, 염기 및 용매에 우수한 내성을 갖는다. PFA의 화학적 불활성은 웨이퍼가 운송 업체 자체에서 오염되는 오염에 노출되지 않도록하므로 공정 무결성 부족으로 인해 결함이 발생하지 않습니다. 또한, 고온을 견딜 수 있으면 카세트는 뜨거운 화학 욕조 또는 뜨거운 초소 수로 헹굼이 안정적이고 신뢰할 수있는 성능으로 헹구는 과정을 지원할 수 있습니다.
PFA 웨이퍼 카세트입자 부착을 최소화하고 세척을 허용하기 위해 비유질이 아닌 정밀한 매끄러운 표면으로 설계됩니다. 웨이퍼 카세트는 오늘날의 팹에서 높은 청결 수준을 달성하여 미묘한 오염조차도 수율 손실 또는 장치 고장을 초래할 수 있습니다. 부드러운 내부 윤곽의 유형은 섬세한 웨이퍼 표면의 긁힘을 줄이고, 습식 가공 후에 순서대로 액체 배수를 허용하여 화학 잔류 물의 슬러리가 웨이퍼의 남아 있거나 닿지 않아 공정 일관성을 높이고 두 번째로 청소 노력에 대한 요구를 줄이는 것을 방지합니다.
PFA 웨이퍼 카세트의 추가 주요 장점은 치수 정확도와 구조적 안정성입니다. 카세트 제조 공정은 일반적으로 예상되는 것보다 더 엄격한 공차가 필요하므로 카세트는 전송 중에 웨이퍼의 원치 않는 이동 또는 원치 않는 접촉이 없도록 웨이퍼를 단단히 고정시킬 수 있습니다. 카세트는 수동 처리 또는 자동 웨이퍼 운송 시스템 중에 위치 또는 특징 일관성이 있습니다. PFA 웨이퍼 카세트는 업계 표준 웨이퍼 처리 및 운송 시스템과 관련된 표준 물리적 브레이크 아웃을 정확하게 준수합니다. PFA 웨이퍼 카세트와 관련된 길고 유용한 서비스 신뢰성은 PFA가 반복 된 화학 물질, 열 순환 및 기계적 노출 후 재사용을 견딜 수 있기 때문에 투자 가치를 증가시킵니다.
PFA 웨이퍼 카세트는 웨이퍼를 보호하기 위해 습식 화학 처리뿐만 아니라 저장 및 운송에 귀중한 자산입니다. 그들은 냉각 과정에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 위해 비활성 재료로 제작되었으며, 내구성은 포장 및 운송에서 파손 및 에지 칩을 제한해야합니다. PFA 웨이퍼 카세트는 반도체 팹뿐만 아니라 리서치 랩, 태양 광 발전 및 고순도 웨이퍼 처리가 필요한 기타 산업에 중요합니다.
PFA 웨이퍼 카세트또한 유리한 지속 가능성과 사용 당 비용을 제공합니다. 건축 자재는 화학 공격에 탄력적이며 청소하기 쉬우므로 재사용 가능하고 폐기물 및 일회성을 낮추고 장기 운영 비용을 줄이기 위해 반복적 인 사용을 장려합니다. 오염이있을 때 웨이퍼의 일반적인 파괴를 주목하면 오염 이벤트 감소 및 웨이퍼 손실은 수율을 높이고 결함을 감소시킵니다. 수율 손실과 캔버스 결함 증가는 반도체 제조 운영의 경쟁력에있어 온톨로지의 주요 요인입니다.