다공성 흑연 도가니

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제품 설명

다공성 흑연 도가니는 반도체 제조의 중요한 단계인 탄화규소(SiC) 단결정 성장 공정에서 중요한 역할을 합니다. 이 특수 도가니는 극한의 온도와 가혹한 화학적 환경을 견딜 수 있도록 설계되어 SiC 결정 성장과 관련된 고온 반응에 이상적인 용기입니다.

도가니는 일반적으로 우수한 열 전도성, 화학적 불활성 및 기계적 강도로 알려진 고순도 흑연 재료로 만들어집니다. "다공성"이라는 용어는 흑연 내에 투과성 구조를 의도적으로 생성하여 결정 성장 과정에서 가스와 액체의 흐름을 제어할 수 있음을 의미합니다.

SiC 단결정 성장 공정에는 고온로에서 실리콘과 탄소원 물질을 승화시키는 과정이 포함됩니다. 다공성 흑연 도가니는 이러한 원료 물질을 담는 용기 역할을 하여 결정 성장이 일어나도록 안정적이고 제어된 환경을 제공합니다. 다공성 구조로 인해 전구체 가스의 효율적인 이동이 가능하고 성장 과정에서 생성되는 부산물의 제거가 용이합니다.

안정성을 유지하고 극한 조건을 견딜 수 있는 도가니의 능력은 반도체 장치 생산에 필수적인 고품질 SiC 단결정을 달성하는 데 필수적입니다. 도가니의 다공성은 가스 흐름과 열 분포를 최적화하는 데 도움이 되어 크고 고품질 SiC 결정의 균일한 성장에 기여합니다.