쿼츠 12인치 받침대

Semicorex Quartz 12” Pedestal은 놀라운 정밀도와 신뢰성으로 반도체 장치의 품질과 효율성을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다. 고순도 석영으로 제조된 Quartz 12인치 받침대는 탁월한 열적 및 화학적 저항성을 제공하므로 확산 과정에서 직면하는 가혹한 환경에 이상적인 선택입니다. 석영은 순도와 안정성으로 유명한 소재로, 이는 아주 작은 불순물이라도 최종 제품에 심각한 결함을 초래할 수 있는 반도체 제조에 필수적인 특성입니다.

12인치 받침대는 확산 공정 중에 반도체 웨이퍼를 균일하게 지지할 수 있도록 세심하게 설계되었습니다. 이 설계는 웨이퍼 표면 전체에 균일한 열 분포를 보장하며, 이는 일관된 도핑 수준과 균일한 전기적 특성을 달성하는 데 중요합니다. 받침대의 정확한 치수와 표면 마감은 최고 수준으로 유지되어 웨이퍼 오염이나 손상 위험을 최소화합니다.

확산 공정에서 웨이퍼는 실리콘 기판에 도펀트를 도입하기 위해 고온과 반응성 가스에 노출됩니다. Quartz 12인치 받침대는 이러한 극한 조건을 견디며 장기간 사용해도 구조적 무결성과 성능을 유지합니다. 뛰어난 열 안정성 덕분에 변형이나 품질 저하 없이 반복적인 가열 및 냉각 주기를 견딜 수 있으며, 이는 공정 일관성과 신뢰성을 유지하는 데 필수적입니다.

Quartz 12” Pedestal은 광범위한 확산로 및 공정 조건과 호환됩니다. 이는 기존 장비 설정에 원활하게 통합되도록 설계되어 프로세스 기능을 향상시키려는 제조업체에게 간단한 업그레이드 경로를 제공합니다. 받침대의 견고한 구조와 고순도 석영 소재는 수명 연장에 기여하여 교체 및 유지 관리 빈도를 줄여 전체 운영 비용을 낮춥니다.

Quartz 12인치 받침대의 표면 품질은 성능에 기여하는 또 다른 중요한 측면입니다. 받침대는 엄격한 연마 및 세척 공정을 거쳐 거울 같은 마감을 구현하여 입자 생성 및 오염 가능성을 줄입니다. 이러한 높은 수준의 청결성은 미세한 입자라도 결함과 수율 손실로 이어질 수 있는 반도체 산업에서 매우 중요합니다. 표면이 매끄러워서 청소와 유지 관리가 쉬워서 받침대가 수명 내내 최적의 상태를 유지합니다.