반도체급 석영 도가니

Semicorex 반도체 등급석영 도가니전기 아크 용해 공정을 사용하여 제조됩니다. 3층 복합 구조는 내부 고순도 투명층, 중간 전이층, 외부 버블 복합층으로 구성됩니다. 이러한 레이어는 시너지 효과를 발휘하여 탁월한 기계적 강도, 최적화된 열 관리 성능 및 비용 효율성을 제공합니다.

반도체급 석영 도가니의 장점

1. 높은 순도:

Semiconductorex 반도체 등급 석영 도가니는 비교할 수 없는 초고순도를 가지며, 불순물 함량(예: Al, Fe, Ca, Mg)은 ppm 또는 ppb 수준으로 엄격하게 제어됩니다. 이러한 순도 제어는 단결정 실리콘 성장 공정 중 불순물 오염을 효과적으로 방지하여 소스로부터 반도체 실리콘 웨이퍼의 전기적 성능과 수율을 보호합니다.

2. 우수한 고온 저항

Semicorex 반도체 등급석영도가니는 1100℃ 고온 환경에서 지속적으로 사용할 수 있으며 1450℃의 단기 고온을 견딜 수 있습니다. 이러한 특성 덕분에 Semicorex 반도체 등급 석영 도가니는 반도체 제조의 고온 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있으며 고온 변형이나 연화로 인한 결정 견인 실패를 크게 방지할 수 있습니다.

3. 탁월한 열 안정성

Semicorex 반도체급 석영 도가니는 열팽창 계수가 낮아 급속 가열 또는 냉각 시 구조적 안정성을 유지할 수 있으며 열 응력으로 인한 균열이나 변형을 최소화합니다. 또한 Semicorex 반도체급 석영 도가니는 우수한 열 전도성의 이점을 활용하여 균일하고 안정적인 온도 장 분포를 달성하여 단결정 실리콘 로드의 품질과 일관성을 향상시키는 데 도움이 됩니다.

4. 내층의 기포 함량이 낮음

Semicorex 반도체급 석영 도가니의 내부 투명층은 엄격한 제어를 통해 매우 낮은 기포 밀도를 달성할 수 있습니다. 이는 단결정 실리콘 성장 작업 중 기포 팽창 및 파열에 대한 간섭을 최소화하여 단결정 실리콘 로드의 불량률을 줄일 수 있습니다.