Semicorex 반도체 흑연 히터는 고품질의 등방 흑연으로 만든 고효율 가열 장치입니다. 결정 성장로의 열장, 에피택셜 성장 공정, 이온 주입 장비, 플라즈마 에칭 장비, 반도체 소자 소결 금형 생산 등 반도체 제조의 핵심 공정 연계에 널리 사용됩니다.
반도체흑연 히터고순도 등방성 흑연 소재로 만들어진 첨단 가열 장치입니다. 우수한 전기 전도성과 열 전도성으로 반도체 소재의 성장 및 가공 시 정밀한 온도 제어와 균일한 열 분포를 보장합니다. 전류가 히터를 통과하면 흑연의 내부 전기 저항을 극복하여 전기 에너지를 열로 변환하고 흑연 온도를 높여 가열을 달성합니다. 정밀한 온도 제어는 일반적으로 전류 강도와 히터 저항을 조정하여 달성할 수 있습니다.
세미코렉스가 엄선한 고순도등방성 흑연우수한 열전도율을 발휘하여 가열 부위 구석구석까지 빠르고 균일하게 열을 전달하여 국부적인 과열을 효과적으로 방지합니다.
우수한 열전도율을 발휘하여 가열 부위 구석구석까지 빠르고 균일하게 열을 전달하여 국부적인 과열을 효과적으로 방지합니다.
반도체 흑연 히터는 에너지 효율성이 특징입니다. 예열이 필요 없고, 설정 온도에 빠르게 도달하며, 기존 히터에 비해 상당한 에너지 절감 효과를 제공합니다. 높은 열 변환 효율은 에너지 소비를 효과적으로 줄여 에너지 절약 및 소비 감소를 실현합니다. 작동 중에는 오염 물질이나 배기 가스가 발생하지 않아 환경 요구 사항을 충족합니다.
또한, 반도체 흑연히터는 긴 수명을 자랑합니다. 고순도 등방성 흑연은 우수한 기계적 강도, 강한 내식성, 우수한 내열충격성을 부여합니다. 고온 및 화학적 부식과 같은 요인에 덜 민감하므로 사용 수명이 연장됩니다.