SIC 흡입 링

Semicorex SIC 흡입 링은 반도체 처리 시스템, 특히 가스 균일 성 및 프로세스 안정성이 품질 및 장치 성능과 함께 웨이퍼 처리에 영향을 미치는 에피 택셜 반응기 및 증착 장비에서 중요한 구성 요소입니다. SIC 흡입 링은 공정 가스의 입구를 제어하도록 설계되었으며, 가공 중 온도 및 화학적 반응성과 관련하여 웨이퍼 표면에 균일 한 가스 흐름을 제공하면서, 특히 고온 상승에서는 입구 조건을 정확하게 안정화 시키도록 설계되었습니다. SIC 흡입 링은 매우 고급스러운 실리콘 카바이드 (SIC)로부터 변동하여 열 충격, 부식에 대한 저항성 및 입자 생성에 대해 탄력성이 없어 진 고급 반도체 제작의 필수 구성 요소입니다.

재료로서 탄화물의 주요 장점은 극한 열 조건을 경험하는 능력입니다. 에피 택셜 성장 및 기타 반도체 프로세스의 경우, 반응기는 기존 재료의 고온 수준을 초과 할 수있는 지속적인 고온 수준을 유지합니다. SIC 흡입 링은 이러한 온도 후에 열적으로 견딜 수 있으며, 변형이없고 특히 휘파선이 없어서 열적으로 견딜 수 있습니다. 그들은 가스의 흐름 균일 성의 중단을 피하기 위해 차원을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 또한, SIC 흡입 링의 온도 저항은 긴 작동주기에 걸쳐 공정의 균일 한 조건을 제공한다. 이 요인은 대량 제조 및 장치 제조에 유용합니다.

화학 저항은 열 안정성 외에도 또 다른 중요한 품질입니다.sic입구 링. 반도체 공정은 실란, 수소 및 암모니아와 같은 반응성 가스를 포함하거나 일부 염소 기반 화학의 사용을 포함 할 수 있습니다. 반응성 가스에 노출 될 때 부식 또는 분해하는 재료는 첫 노출시 웨이퍼의 오염을 유발할 수 있으며 결국 공정의 효율 손실을 초래합니다. SIC는 화학 공격에 대한 높은 저항성을 제공하여 급진적 인 청결을 보존하고, 입자 형 오염을 방지하며, 입구 링의 서비스 수명을 연장하는 동시에 웨이퍼의 무결성을 유지하고 수율이 높아지고 결함을 낮 춥니 다.

가공 정밀도는 입구 링의 성능에서 또 다른 중요한 고려 사항입니다. 링의 형상은 공정 가스의 흐름 특성을 제어하는 ​​데 중요합니다. 약간의 불일치는 가스의 고르지 않은 분포로 이어지고 웨이퍼에 걸쳐 균일하지 않은 필름 성장 또는 도핑 특성으로 이어집니다.SIC 흡입 링정밀 기술을 사용하여 생산되며, 밀접한 공차, 우수한 평탄도 및 우수한 표면 마감 처리를 달성합니다. 입구 고리의 정밀도는 프로세스 챔버로 가스를 반복적으로 균일하게 전달하여 웨이퍼의 공정 제어에 직접적인 영향을 미칩니다.

사용자 정의는 SIC 흡입 링의 또 다른 중요한 이점입니다. 반도체 장비 및 프로세스의 다른 설계로 인해 각 응용 프로그램은 다른 구성 요소를 올바르게 수용해야합니다. SIC 흡입 링은 다양한 크기, 모양 및 유형으로 제조 될 수 있으므로 다양한 반응기 모델 및 응용 분야의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 다양한 표면 처리 및 연마를 사용하여 성능을 더욱 향상시킬 수 있으며 최적의 성능을 위해 고객에게 생산 환경에 맞는 고유 한 솔루션을 제공합니다.

기술적 이점 외에도 SIC 흡입 링은 운영 및 경제적 이점이 있습니다. 열 및 화학적 스트레스에 대한 내구성은 교체 수가 줄어들고 유지 보수 비용이 줄어들어 가동 시간과 소모품이 줄어 듭니다. 반도체 팹의 처리량을 최대화하고 효율성을 높이려고 할 때 SIC 흡입 링은 공정 품질을 유지하면서 장기 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.

SemicorexSIC 흡입 링실리콘 카바이드 재료의 고급 특성을 조작 된 정밀도와 결합하여 반도체 제조 응용 분야에 대한 향상된 성능을 제공합니다. 높은 열 저항, 뛰어난 화학적 안정성 및 정밀 가공을 특징으로하는 SIC 흡입 링은 장기 내구성을 갖는 첨단 기술 응용 분야의 가스 흐름 제어의 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 오염이없고 사용자 정의 가능한 SIC 흡입 링은 공정 안정성, 고효율 및 장치의 수율을 유지하려는 팹의 핵심 구성 요소입니다. 반도체 제조업체는 Semicorex에서 SIC 흡입 링을 선택함으로써 반도체 제조에서 가장 어려운 프로세스의 요구를 충족시키기 위해 설계된 입증 된 솔루션을 사용하고 있습니다.