sic 뚜껑

Semicorex SIC 뚜껑은 반도체 처리를 위해 특별히 설계된 중요한 부분입니다. 에피 택시, 이온 임플란트 및 고온 응용 분야에서 가장 힘든 환경을 위해 설계되었습니다. 매우 안정적인 재료 특성을 갖고 조작 된 정밀도를 갖는 초소형 실리콘 카바이드에서 제조됩니다. 장기 일관성, 내구성 및 청결은 고급 반도체 제조 공정에 사용하기 위해 Semicorex SIC 뚜껑을 선택하는 주요 이유입니다.

실리콘 카바이드 (sic)전통적인 세라믹 또는 금속 재료에 비해 독특한 다양한 특성이 있습니다. SIC의 주요 장점 중 하나는 고온에 대한 저항입니다. SIC는 고온에서도 오랜 기간 동안 구조적 무결성과 기계적 안정성을 유지할 수 있습니다. 이는 SIC가 화학 증기 증착 (CVD) 에피 택시 또는 고 에너지 이온 이식과 같은 공정에 이상적입니다. 금속과 플라스틱은 극한 온도에서 변형, 산화 또는 오염되는 반면, SIC는 치수 안정성을 유지하고 처리되는 웨이퍼와 긍정적으로 상호 작용하지 않습니다.

화학 저항은 SIC 뚜껑의 또 다른 특징입니다. 반도체 처리에서 부식성 가스, 플라즈마 또는 반응성 화학 물질로 겪을 수있는 환경은 드문 일이 아닙니다. 이러한 시나리오에서 SIC 표면은 이러한 오염 물질이 시간이 지남에 따라 표면을 분해하는 것에 저항하는 불활성 장벽을 제공하여 더 긴 효과적인 수명을 초래할 것입니다. 이 수명은 유지 보수 비용 감소, 장비 가하계 절감 및 연장 된 공정주기의 반복성과 동일합니다. 이러한 요소는 SIC 뚜껑을 전통적인 재료에 비해 연속적이고 높은 수율 생산이 필요한 팹에 더 나은 옵션으로 만듭니다.

화학 저항과 마찬가지로 순도는 반도체 적용에서 가장 중요합니다. 미량 오염 물질의 존재는 장치 성능 및 수율에 부정적인 영향을 줄 수 있습니다. SIC 뚜껑은 공정 환경으로 흐르는 금속 불순물의 가능성을 배제하는 고순도 실리콘 카바이드 물질로 만들어집니다. 또한, 뚜껑 성능에 영향을 미치는 오염 물질 및 외부 힘과 관련하여 가능한 한 깨끗하고 안정적으로 보장되며, 이는 오늘날의 반도체 제조 요구 사항을 충족하는 데 중요합니다. 나노 미터 레벨 객체는 치수가없는 정밀도 및 오염 물질의 제어로 정의되어야합니다. SIC 뚜껑이 제공하는 유연성은 추가 가치입니다. 각 구성 요소는 크기, 형상 및 표면 마감과 관련하여 특정 고객의 요구에 맞게 설계 될 수 있습니다. 이를 통해 뚜껑을 다양한 장비 모델 및 프로세스 도구에 쉽게 통합하고 통합 할 수 있습니다.

가공의 정밀도sic뚜껑은 SIC 뚜껑의 가치를 더욱 향상시킵니다. 반도체 도구는 치수 호환성 및 표면 균일 성의 변동이 크기 때문에 최고 기계적 정밀도가 필요하며, 균일 성 및 재료 두께의 작은 분산조차도 공구의 프로세스 일관성, 처리량 및 제품 품질을 심각하게 손상시킬 수 있습니다. 재료 처리의 첨단 기술을 통해 SIC 뚜껑은 평평성, 표면 균일 성 및 기존의 산업 표준을 초과하는 공차를 가지고 있으며, 기계적 밀봉 표면 두께, 일반적으로 수천/수천 인치 (TIR)를 제공합니다. 높은 평탄도는 기계적 맞춤을 밀봉 할 수 있으며, 생산 공정의 경험 조건을 복제 할 수있는 실험실 등급 제한에 대한 보증을 보증 할 수 있습니다. 이는 반도체 장치의 성능에있어 조건의 반복성에 중점을 둔 대량 팹에서 특히 명백합니다. 정밀 엔지니어링을 추구하면 최적화를 산출하기 위해 직접 말합니다. 예를 들어, SIC 뚜껑이 전형적인 실용적으로 실용적으로 사용될 때, SIC 뚜껑이 반응기에 도달하기 위해 열 및 화학적으로 안정적인 위치에 있거나, 이온 이식 시스템에, 또는 이온 임플란트 시스템에, 뚜껑을 치는 고전력 빔에서 방출 된 에너지 빔에 저항하는 이온 입자에 저항하고, 기계적 구성과 특성을 유지하는 그들의 성능을 유지하고 활력을 유지하고, 활력을 유지하고, 활성화되고, 유효하고, 가속적이며, 활력을 유지하고,, SIC 뚜껑이 솔리드 스테이트 반도체 생산에서 동의어가되는 이유.

Semicorex SIC LID는 재료 과학 및 재료 공학의 최고를 나타내며, 고온 공차, 화학 저항, 이상적인 순도, 맞춤형 제작, 정확한 가공 작업 중에서 SIC 뚜껑이 수행 할 수있는 최상의 성능을 제공합니다.