실리콘 카바이드 세라믹(SiC)은 실리콘과 탄소를 함유한 고급 세라믹 소재입니다. 탄화규소 입자는 소결을 통해 서로 결합되어 매우 단단한 세라믹을 형성할 수 있습니다. Semicorex는 귀하의 요구에 따라 맞춤형 탄화규소 세라믹을 공급합니다.
응용
탄화규소 세라믹을 사용하면 재료 특성이 1,400°C 이상의 온도까지 일정하게 유지됩니다. 400GPa 이상의 높은 영률은 탁월한 치수 안정성을 보장합니다.
실리콘 카바이드 부품의 일반적인 응용 분야는 예를 들어 펌프 및 구동 시스템에서 마찰 베어링과 기계적 씰을 사용하는 동적 씰링 기술입니다.
고급 특성을 갖춘 탄화 규소 세라믹은 반도체 산업에 사용하기에 이상적입니다.
웨이퍼 보트 →
Semicorex 웨이퍼 보트는 소결 실리콘 카바이드 세라믹으로 제작되어 내부식성이 우수하고 고온 및 열충격에 대한 저항성이 뛰어납니다. 고급 세라믹은 뛰어난 내열성과 플라즈마 내구성을 제공하는 동시에 고용량 웨이퍼 캐리어의 입자와 오염 물질을 완화합니다.
반응 소결 탄화 규소
다른 소결 공정에 비해 치밀화 공정 중 반응소결의 크기 변화가 적고, 정확한 치수의 제품을 생산할 수 있습니다. 그러나, 소결체 내에 다량의 SiC가 존재하면 반응 소결된 SiC 세라믹스의 고온 성능이 악화됩니다.
무압력 소결 탄화규소
무압력 소결 탄화규소(SSiC)는 특히 가볍고 동시에 단단한 고성능 세라믹입니다. SSiC는 극한의 온도에서도 거의 일정하게 유지되는 높은 강도를 특징으로 합니다.
재결정 탄화규소
재결정탄화규소(RSiC)는 고순도 탄화규소 조분말과 고활성 탄화규소 미분말을 혼합하고 그라우팅 후 2450℃에서 진공 소결하여 재결정화시킨 차세대 소재이다.
Semicorex 실리콘 카바이드 진공 척은 다공성 실리콘 카바이드에서 제작 된 고성능 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 장착 (왁싱), 삭제, 웨이스, 청소, 다이 싱 및 빠른 열 어닐링 (RTA)과 같은 중요한 공정 동안 반도체 웨이퍼의 진공 흡착을 위해 구체적으로 설계됩니다. 탁월한 재료 순도, 차원 정밀도 및 까다로운 반도체 환경에서 신뢰할 수있는 성능을 위해 Semicorex를 선택하십시오.*
더 읽어보기문의 보내기Semicorex sic 캔틸레버 패들은 고온 환경에서 안정적인 웨이퍼 취급을 위해 설계된 반도체 열 처리 장비에 사용되는 고성능 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들입니다. Semicorex를 선택한다는 것은 고급 재료, 우수한 열 안정성 및 산업 최고의 정밀 제조 기술을 선택하여 귀하의 모든 중요한 프로세스가 안정적이고 신뢰할 수 있도록하는 것을 의미합니다.*
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