테플론 카세트

Semicorex Teflon Cassettes는 순도, 화학 저항 및 열 안정성이 필수적 인 까다로운 화학 환경에서 사용하도록 특별히 설계된 고성능 웨이퍼 캐리어입니다. 고급 폴리 테트라 플루오로 에틸렌 (PTFE)으로 만들어진이 카세트는 반도체 제조, 습식 에칭, 화학적 세정 및 고도로 공격적인 화학 물질에 노출되는 기타 응용 분야에 널리 사용됩니다. 비 반응성 특성은 공정에 오염 또는 미립자를 도입하지 않고 실리콘 웨이퍼, 유리 패널 및 기타 정밀 구성 요소와 같은 섬세한 기판을 처리하는 데 이상적입니다.

리소그래피, 에칭 및 이온 임플란트와 같은 다양한 반도체 제조 공정에서 카세트는 다른 장치들 사이에서 웨이퍼를 운반하고 전달하는 데 역할을합니다. 프로세스 장비마다 카세트에 대한 인터페이스 요구 사항이 다를 수 있으며 웨이퍼 캐리어가 정확하게 수신 및 배치 될 수 있도록합니다.

재료 및 설계의 관점에서, 내열성이있는 재료는 우수한 기계적 특성, 치수 안정성을 가지며 내구성이 뛰어나고, 방지 방지, 낮은 아웃소싱, 낮은 강수량 및 재활용 가능이 일반적으로 사용됩니다. 다른 웨이퍼 크기, 프로세스 노드 및 프로세스는 다른 재료를 사용합니다. 일반적인 자료는 PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP 등입니다.

Teflon Cassettes는 히드로 플루오르 산, 질산, 황산 및 기타 강한 부식성을 사용하는 환경에서 우수한 화학 저항성을 제공합니다. 폴리 프로필렌 또는 스테인레스 스틸과 같은 기존의 재료와 달리 PTFE는 분해하지 않습니다. 팽창하지 않습니다. 가혹한 화학 목욕에는 물질이 없습니다. 따라서 성능은 장기간에 걸쳐 보장되므로 고 처리량 생산 라인과 매우 청소 된 환경에 대한 카세트의 신뢰성이 보장됩니다. 견고성은 유지 보수 요구와 교체 빈도가 낮아져 장기 운영 비용이 줄어 듭니다.

테플론 카세트는 매우 높은 열 안정성을 보여줍니다. 그것들은 -200 ° C ~ +260 ° C의 온도를 쉽게 견딜 수 있으며, 극저온 및 고온 공정에는 적용 할 수 있습니다. 가열 된 건조 챔버 또는 차가운 화학 목욕에도 카세트는 구조적 강도를 잃지 않습니다. 그들은 뒤틀거나 갈라지지 않아 처리 중에 웨이퍼가 안전하게 유지되도록합니다. 이 온도 복원력은 반도체 및 MEMS 제조에 중요한 프로세스 제어 및 균일 성에 크게 기여합니다.

Teflon Cassettes의 똑같이 중요한 특성은 불활성, 스틱이 아닌 표면입니다. PTFE는 본질적으로 입자와 화학 잔류 물의 흡착을 허용하지 않으므로 깨끗한 객실 환경에서 오염 위험을 줄입니다. 이는 부드러운 표면 마감 처리와 결합되어 쉽고 건조가 빠르고 빠르게 건조 할 수 있으므로 깨끗한 결과와 더 빠른 사이클 시간이 발생합니다. 미세한 오염 물질로 인해 결함이 발생할 수있는 반도체 처리 에서이 청결성과 화학적 불활성 수준은 필수입니다.

각 카세트는 단단한 크기의 공차로 정확하게 만들어져 움직여 액체에 넣는 동안 꾸준한 웨이퍼 정렬 및 간격을 보장합니다. 쉽게 설계된 형태는 빠른 화학적 흐름과 배수에 도움이되며, 이는 화학 환율 속도를 높이고 웨이퍼 표면의 청소 또는 에칭 균일 성을 향상시킵니다.  카세트는 4 인치, 6 인치 및 8 인치 웨이퍼의 표준 크기로 제공되며 특정 기판 치수, 슬롯 카운트 및 취급 요구 사항에 맞게 사용자 정의 옵션을 사용할 수 있습니다.

자동화 된 습식 벤치 및 로봇 웨이퍼 처리 시스템과 호환성을 위해 설계된 Teflon Cassettes는 대부분의 반도체 생산 설정에 쉽게 통합됩니다. 그들의 강력한 건축 및 클린 룸 급식 마감은 ISO 인증 환경의 엄격한 요구를 충족시킵니다. 모든 카세트는 철저한 검사를 받고 고급 마이크로 전자 생산에 필요한 청결 표준을 충족시키기 위해 초고 물에 사전 정리되어 있습니다. 품질 보증 프로토콜을 준수하기 위해 적합성 및 전체 재료 추적 성을 제공 할 수 있습니다.