알루미나 세라믹 웨이퍼 척

Semicorex 알루미나 세라믹 웨이퍼 척의 다중 다공성 특성은 높은 비표면적을 제공합니다. 이는 대상 물체와 상호 작용할 수 있는 표면이 더 많다는 것을 의미합니다. 다공성이 높으면 흡착성이 향상되어 연삭 중에 안전하고 균일한 웨이퍼 고정이 가능합니다. 이러한 균일성은 반도체 제조의 핵심 요구 사항인 고품질의 결함 없는 웨이퍼 표면을 달성하는 데 필수적입니다.

알루미나 세라믹 웨이퍼 척은 연삭 공정 중에 열을 효과적으로 발산하는 데 필수적인 우수한 열 전도성을 나타냅니다. 이러한 열 관리는 척과 공작물 모두의 손상을 방지하여 웨이퍼 제조의 높은 정밀도를 보장합니다. 또한 알루미나 세라믹 웨이퍼 척은 변형이나 구조적 무결성 손실 없이 고온을 견딜 수 있어 반도체 처리 장비와 같은 극한 조건에서 작동하는 응용 분야에 적합합니다.

알루미나 세라믹 웨이퍼 척의 불활성 특성은 다양한 화학 물질로 인한 부식에 강한 저항성을 부여합니다. 부식성 물질에 대한 이러한 저항성은 척의 무결성을 유지하는 데 중요할 뿐만 아니라 처리 중 웨이퍼의 오염을 방지하는 데에도 중요합니다. 화학적 안정성은 알루미나 세라믹 웨이퍼 척이 반도체 제조 및 기타 민감한 응용 분야에서 가장 중요한 공정 화학 물질 또는 처리 중인 재료와 반응하지 않도록 보장합니다.