알루미나 척

Semicorex Alumina Chuck은 알루미나 세라믹으로 세심하게 제작된 반도체 공정의 초석 도구입니다. 이 특수 소재는 고순도 유형과 일반 유형의 두 가지 종류로 제공되며 각각 고유한 용도와 특성을 가지고 있습니다.

Al2O3 함량이 99.9% 이상인 고순도 알루미나 세라믹은 우수한 순도와 복원력을 자랑합니다. 1650~1990°C 범위의 소결 온도에서 형성된 이 세라믹은 1~6μm의 파장 범위 내에서 탁월한 광 투과 특성을 보유합니다. 이들의 다용성은 용융 유리 응용 분야의 백금 도가니 교체부터 나트륨 램프와 같은 알칼리 및 금속의 부식력에 대한 저항에 이르기까지 다양한 산업 전반에 걸쳐 확장됩니다. 전자 분야에서는 집적 회로용 기판 및 고주파 절연 재료로서의 용도를 찾습니다.

반면, 일반 알루미나 세라믹은 각각의 Al2O3 함량에 따라 99%, 95%, 90% 이상을 포함하는 다양한 조성을 포함합니다. 이러한 세라믹은 고온 도가니, 내화로 튜브, 세라믹 베어링 및 씰과 같은 내마모성 부품에 사용되는 99개의 알루미나를 포함하여 다양한 요구 사항을 충족합니다. 한편, 95 알루미나 변형은 내식성과 내마모성이 뛰어납니다. 활석이 풍부한 일부 제제는 향상된 전기적 특성과 기계적 강도를 나타내어 전기 진공 장치 및 몰리브덴, 니오븀, 탄탈륨과 같은 금속으로 밀봉해야 하는 기타 특수 응용 분야에 쉽게 통합할 수 있습니다.

알루미나 세라믹의 견고성과 다양성을 구현한 알루미나 척은 반도체 제조에서 중요한 고정 장치로 등장합니다. 극한 조건에 대한 정밀 엔지니어링 및 복원력으로 인해 알루미나 척은 중요한 처리 단계에서 섬세한 반도체 웨이퍼를 보호하고 최종 제품의 무결성과 품질을 보장하는 데 없어서는 안 될 요소입니다.