Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 우리는 수년 동안 Deep-UV LED 에피택시 서셉터의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 제품은 좋은 가격 이점을 갖고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 포괄합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
Deep-UV LED 에피택셜 서셉터는 LED 제조에 필수적입니다. Semicorex SiC(실리콘 카바이드) 코팅 플레이트는 고품질 원자외선 LED 웨이퍼 제조를 더욱 효율적으로 만듭니다. SiC 코팅은 조밀하고 내마모성이 뛰어난 탄화규소(SiC) 코팅입니다. 내식성과 내열성이 뛰어나며 열전도율도 우수합니다. 우리는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 사용하여 흑연 위에 SiC를 얇은 층으로 도포합니다.
귀하의 특정 요구 사항이 무엇이든, 당사는 MOCVD 에피택시뿐만 아니라 반도체 및 LED 산업을 위한 최상의 솔루션을 찾아드립니다.
당사의 Deep-UV LED 에피택셜 서셉터는 최상의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 열 프로파일의 균일성을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩의 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
Deep-UV LED 에피택셜 서셉터에 대해 자세히 알아보려면 지금 당사에 문의하십시오.
Deep-UV LED 에피택셜 서셉터의 매개변수
CVD-SIC 코팅 주요 사양 |
||
SiC-CVD 속성 |
||
결정 구조 |
FCC β상 |
|
밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
경도 |
비커스 경도 |
2500 |
입자 크기 |
μm |
2~10 |
화학적 순도 |
% |
99.99995 |
열용량 |
Jkg-1 K-1 |
640 |
승화 온도 |
℃ |
2700 |
굽힘 강도 |
MPa(RT 4점) |
415 |
영률 |
Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) |
430 |
열팽창(C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
열전도율 |
(W/mK) |
300 |
Deep-UV LED 에피택셜 서셉터의 특징
- 파장 편차가 낮고 칩 수율이 높습니다.
- 흑연 기판과 탄화 규소 층 모두 열 전도성이 높고 열 분포 특성이 우수합니다.
- 치수 공차가 엄격해지면 제품 수율이 높아지고 비용이 절감됩니다.
- 벗겨짐을 방지하고 모든 표면에 코팅을 보장합니다.
고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적
고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세한 입자.
내식성: 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.