융합 석영로 튜브

융합석영로 튜브일반적으로 석영 보트, 반응기, 히터 및 석영 배플과 ​​같은 필수 구성 요소와 함께 웨이퍼의 고온 처리 영역을 형성합니다. 제조 과정에서 웨이퍼는 석영 보트에 배치되고 확산, 산화 및 어닐링과 같은 공정을 위해 용광로 튜브로 운반됩니다. 이러한 공정에서 중요한 부분인 용융 석영로 튜브는 반도체 또는 광전지 제품의 품질과 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.

신뢰할 수 있는 성능과 품질을 바탕으로 Semicorex 용융 석영로 튜브는 장기간에 걸쳐 이러한 공정의 작동 환경을 견딜 수 있습니다. Semicorex 용융 석영로 튜브를 사용하면 장기간 주기적 사용 후 석영로 튜브의 심한 변형이나 붕괴로 인한 완제품 손상 위험을 크게 줄일 수 있습니다.

Semicorex 용융 석영로 튜브의 장점

1. 우수한 고온 저항

석영유리연화점은 약 1730°C입니다. Semicorex 용융 석영로 튜브는 1100°C~1200°C에서 장기간 작동을 지원하며 훨씬 더 높은 온도에 대한 단기 허용 오차도 지원합니다.

2. 뛰어난 열 안정성

반도체급 석영 소재는 매우 낮은 열팽창 계수를 제공하므로 균열이나 손상 없이 고온에서 실온까지 빠르게 냉각될 수 있습니다.

3. 강한 화학적 내식성

Semicorex 용융 석영로 튜브는 강력한 화학적 부식 저항성을 갖추고 있습니다. 불화수소산과 열인산을 제외하고는 산, 알칼리, 염분과 같은 다른 화학물질과 거의 반응하지 않습니다.

4. 뛰어난 빛 투과율

자외선부터 적외선 스펙트럼까지 탁월한 투과율을 보이는 고순도 석영은 가시광선 범위에서 93% 이상의 광 투과율을 달성합니다. 이러한 탁월한 광학 성능 덕분에 Semicorex 용융 석영로 튜브는 광학 모니터링 또는 자외선 처리가 필요한 공정에 적합한 옵션입니다.

Semicorex 용융 석영로 튜브의 응용

1. 반도체 제조시 확산, 산화, 어닐링 공정에 사용됩니다.

2. 광전지 산업 제조의 고온 반응 용기에 사용됩니다.

3. 분광계 창, 레이저 슬리브, 자외선 광학 시스템 및 기타 광학 응용 분야의 제조에 사용됩니다.