석영 확산 튜브

Quartz Diffusion Tube의 주요 장점 중 하나는 웨이퍼 생산 중 용해로 대기 오염을 방지할 수 있다는 것입니다. 용융 석영을 생산하는 데 사용되는 규사에서 자연적으로 발생할 수 있는 나트륨과 같은 오염 물질은 반도체 장치의 전기적 특성에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. Semicorex Quartz Diffusion Tube는 99.998% 실리카 함량으로 제조되어 탁월한 순도를 보장하고 오염 위험을 최소화합니다. 이러한 높은 순도는 웨이퍼 제조 공정의 무결성을 유지하고 고품질 반도체 장치를 생산하는 데 중요합니다.

석영 확산 튜브의 열적 특성은 반도체 제조에서도 마찬가지로 중요합니다. 당사의 석영 확산 튜브는 최대 1250°C의 온도를 견딜 수 있으므로 열 산화 및 어닐링 공정에 존재하는 강렬한 열 조건에 적합합니다. 열 산화에는 다음이 포함됩니다. 절연체 역할을 하며 반도체 장치가 제대로 작동하는 데 필수적인 실리콘 웨이퍼 표면의 이산화규소 층이 성장하는 것입니다. Semicorex Quartz Diffusion Tube의 높은 내열성은 튜브 재료의 간섭 없이 산화 과정이 균일하게 발생하도록 보장합니다. 이러한 균일성은 최종 반도체 장치에서 일관되고 안정적인 성능을 달성하는 데 필수적입니다.

반도체 웨이퍼 제조의 또 다른 중요한 공정인 어닐링에는 물리적, 화학적 특성을 수정하기 위해 웨이퍼를 가열하고 냉각을 제어하는 ​​과정이 포함됩니다. 이 공정은 실리콘의 결정 구조를 개선하고 불순물을 활성화하며 결함을 줄이는 것을 목표로 한다. Semicorex Quartz Diffusion Tube는 효과적인 어닐링에 필요한 안정성과 내열성을 제공하여 웨이퍼가 균일하게 처리되고 원하는 재료 특성을 얻을 수 있도록 보장합니다.

높은 내열성 외에도 Semicorex Quartz Diffusion Tube는 열충격에 대한 탁월한 저항성을 나타냅니다. 반도체 제조 공정에는 급격한 온도 변화가 수반되는 경우가 많습니다. 이로 인해 열충격이 발생하고 이러한 조건을 견디도록 설계되지 않은 재료가 손상될 가능성이 있습니다. 석영 확산 튜브의 열충격에 대한 높은 저항성은 웨이퍼 제조에서 일반적인 급속 가열 및 냉각 주기에 대처할 수 있도록 보장합니다. 이러한 내구성은 석영 확산 튜브의 무결성을 유지하는 데 도움이 되며 생산 환경에서 수명과 신뢰성을 보장합니다.

UV 투명성은 Semicorex Quartz Diffusion Tube의 또 다른 중요한 이점입니다. 검사 또는 활성화 목적으로 UV 광선을 사용하는 공정에서 당사 석영 튜브의 탁월한 UV 투명도는 더 나은 공정 제어 및 모니터링을 가능하게 합니다. 이러한 투명성은 웨이퍼가 정확하고 일관되게 처리되도록 보장하며, 이는 최종 반도체 장치에서 원하는 전기적 특성을 달성하는 데 필수적입니다. 공정을 정밀하게 모니터링하고 제어할 수 있는 능력은 생산되는 반도체 장치의 전반적인 품질과 신뢰성을 향상시킵니다.

Semicorex는 다양한 반도체 제조 공정에 고유한 요구 사항이 있다는 것을 이해하고 있습니다. 이러한 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 당사는 특정 최종 사용자 응용 분야에 맞게 맞춤 설계된 석영 확산 튜브를 제공합니다. 당사의 맞춤형 설계에는 배관이 부착되거나 부착되지 않은 단일 또는 이중 벽 튜브와 다양한 플랜지 구성이 포함될 수 있습니다. 이러한 유연성을 통해 우리는 고객의 제조 공정 요구 사항에 정확하게 부합하는 솔루션을 제공할 수 있습니다. 맞춤화에 대한 우리의 노력은 반도체 제조의 효율성과 신뢰성을 향상시키는 석영 확산 튜브를 제공하여 각 응용 분야의 특정 과제와 요구 사항을 해결할 수 있도록 보장합니다.

다양한 튜브 직경으로 작업할 수 있는 능력은 Semicorex Quartz Diffusion Tube의 또 다른 장점입니다. 우리는 직경이 최대 900mm이고 플랜지가 약간 더 큰 석영 튜브를 생산할 수 있습니다. 이러한 다양한 크기를 통해 당사는 소규모 연구 개발이든 대규모 생산이든 상관없이 모든 반도체 제조 공정에 적합한 석영 튜브를 제공할 수 있습니다. 다양한 크기를 수용할 수 있는 능력을 통해 고객의 특정 요구 사항을 충족하고 제조 공정을 향상시키는 솔루션을 제공할 수 있습니다.