유리 탄소 코팅 펠트

반음 유리 탄소 코팅 펠트는 실리콘 카바이드 에피 택셜 반응기에서 내부 절연 층으로서 작용한다. 고급 열 환경을 위해 설계된 고성능 단열재입니다. 이 제품은 경량의 우수한 열 단열 특성으로 인해 우수한 솔루션을 제공함으로써 전형적인 반도체 고온 제조 문제를 극복합니다.흑연 펠트, 유리 탄소 코팅에 의해 부여 된 표면 완전성 및 화학적 불활성과 결합 된.

기본 재료는 고순도입니다흑연 펠트낮은 열전도율 고도도 안정성과 경량을 선택합니다. 정상적인 흑연 펠트는 일반적으로 높은 온도에서 표면 섬유 흘림 및 입자 생성을 가지고있어 민감한 에피 택셜 시스템에서 공정 환경을 오염시킬 수 있습니다. 이 문제를 완화하기 위해, 흑연 펠트의 표면은 화학적 불활성, 낮은 가스 투과성 및 탁월한 열 안정성으로 알려진 밀도가 높고 비 지공스러운 형태의 탄소 인 유리 탄소 층으로 균일하게 코팅됩니다.

유리 탄소는 유리와 도자기의 특성을 결합한 비 그래피 탄소입니다. 결정질 흑연과 달리, 이는 비정형 가스 대기에서 페놀 수지, 푸 푸릴 알코올 수지 등과 같은 중합 유기 전구체의 고온 소결에 의해 형성되는 비정질, 거의 100% SP2 하이브리드 화 된 탄소 물질이다. 그것은 전체적으로 검은 색이며 유리와 비슷한 매끄러운 표면을 가지고 있기 때문에 유리 탄소라고합니다.

유리 탄소 코팅은 용광로 입자의 생성을 제거하고 밀봉 된 표면 기공을 제공하며 우수한 데 몰딩 특성을 가지며 투과성을 감소 시켜이 물질이 반도체 산업에서 연속 주조 금형 및 제품에 매우 적합합니다. 이 재료는 반도체 산업, 특히 단결정 실리콘 당기기 장비 구성 요소, 에피 택셜 성장 부품, 연속 주조 금형, 유리 밀봉 지그 등과 같은 흑연 부품에서 광범위한 응용 분야를 가지고 있습니다.

유리 탄소는 불활성 가스 또는 진공에서 최대 3000 ° C의 고온 저항성을 가지며, 다른 모든 세라믹 및 금속성 고온 재료와 달리 유리 탄소의 강도는 최대 2700k의 온도가 증가함에 따라 증가하며, 부서지기 때문에 열적 충격 내성이 매우 높기 때문에 짧은 가열 및 냉각 시간은 문제가되지 않습니다. 또한 유리 탄소는 질량이 낮고 열 흡수가 낮고 열 팽창이 적으므로 거의 모든 고온 응용에 적합합니다.

유리 탄소 코팅은 흑연 펠트의 표면 기공을 밀봉하는 데 중요한 역할을하며 작동 중에 입자 및 탄소 먼지의 방출을 크게 감소시킵니다. 이는 최소한의 오염조차도 웨이퍼 품질과 장치 성능을 손상시킬 수있는 SIC 에피 택셜 성장 공정에서 특히 중요합니다. 매끄럽고 단단한 유리 탄소 쉘로 펠트의 다공성 구조를 캡슐화함으로써 코팅은 반응 챔버 내에서 깨끗하고 안정적인 열 환경을 보장합니다.

유리 탄소 코팅 펠트의 주요 장점은 다음과 같습니다.

감소 된 입자 흘림 : 조밀 한 코팅은 느슨한 섬유와 입자에 효과적으로 잠겨 웨이퍼 및 반응기 성분의 오염을 방지합니다.

높은 열 안정성 : 흑연 펠트와 유리 탄소는 모두 불활성 또는 진공 대기에서 2000 ° C를 초과하는 온도를 견딜 수 있으므로 제품은 고온 SIC 공정에 이상적입니다.

화학적 불활성 : 유리 탄소 표면은 대부분의 산과 부식성 가스에 내성이있어 가혹한 조건 하에서 절연 층의 작동 수명을 연장합니다.

개선 된 공정 일관성 : 최소화 된 입자 생성은보다 안정적이고 반복 가능한 에피 택셜 성장 환경에 기여하며, 이는 고품질 SIC 웨이퍼를 생산하는 데 필수적입니다.

유리 탄소 코팅의 적용은 주로 SIC 에피 택셜 성장 용광로로 확장되며, 여기서 핫 영역 내의 열 절연 층으로 사용됩니다. 이 제품은 일반적으로 상단 또는 하단 절연 스택의 안감 재료로 설치되며 열 보호 및 청결 보증을 모두 제공합니다.