반달 구성 요소

Semicorex Half Moon 구성 요소는 에피택셜 반응기 내부에 일반적으로 설치되는 반원통형 또는 분할된 내부 반응기 구조입니다. 독특한 기하학적 구조는 에피택셜 성장 공정 중 가스 분배, 열 관리, 웨이퍼 위치 지정 및 챔버 보호를 최적화하는 데 도움이 됩니다.

표시된 제품은 내부 지지 구조가 통합된 정밀 가공 원통형 구조를 특징으로 하며 LPE 스타일 챔버 구성에 맞게 특별히 설계되었습니다. 이러한 구성 요소는 일반적으로 고순도 흑연으로 제조되며 고급 CVD 탄화규소(SiC) 코팅으로 보호하여 내구성, 순도 및 내화학성을 향상시킬 수 있습니다.

에피택셜 반응기에서 부품 안정성과 청결도는 필름 균일성, 결정 품질 및 웨이퍼 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 따라서 원자로 내부는 변형이나 오염 없이 공격적인 화학적 환경, 빠른 열 순환, 장기간의 고온 작동을 견뎌야 합니다.

LPE 스타일 챔버와 호환되는 반응기 부품

Semicorex는 다음을 포함하여 LPE 에피택시 시스템과 호환되는 여러 반응기 부품을 제조합니다.

* 반달파츠

* 보호 커버

* 흐름 가이드 부품

* 웨이퍼 지지부

* 차폐 링

* 맞춤형 흑연 어셈블리

모든 구성 요소는 반응기 크기, 공정 조건 및 고객별 설계 요구 사항에 따라 맞춤화될 수 있습니다.

Half Moon 부품의 주요 특징

고순도 흑연 기재

원자로 부품은 고밀도, 고순도를 사용하여 제조됩니다.등방성 흑연 재료반도체 용도로 특별히 선정되었습니다. 불순물 함량이 낮기 때문에 에피택시 성장 공정 중 오염 위험을 최소화하는 데 도움이 됩니다.

고순도 재료는 다음을 유지하는 데 필수적입니다.

* 안정적인 결정 성장

* 균일한 에피층

* 낮은 결함 밀도

* 반도체급 청정도

고급 SiC 코팅 보호

까다로운 공정 환경의 경우 흑연 기판을 조밀하게 코팅할 수 있습니다.CVD 실리콘 카바이드. SiC 코팅은 탁월한 접착력과 화학적 안정성으로 보호성이 높은 표면층을 형성합니다.

SiC 코팅은 다음을 제공합니다.

* 우수한 내식성

* 입자 발생 감소

* 내마모성 향상

* 향상된 산화 저항

* 더 긴 서비스 수명

코팅은 또한 공정 가스 및 공격적인 세척 화학 물질로부터 흑연 기판을 보호합니다.

우수한 열 안정성

Half Moon Components는 열 일관성이 중요한 고온 에피택셜 반응기에서 작동합니다. 흑연 및 SiC 소재는 탁월한 열 전도성과 열충격 저항성을 제공하여 급속 가열 및 냉각 주기 동안 안정적인 챔버 조건을 유지하는 데 도움을 줍니다.

뛰어난 열 성능은 다음에 기여합니다.

* 균일한 온도 분포

* 열 스트레스 감소

* 안정적인 공정 반복성

* 향상된 에피택셜 레이어 일관성

정밀 가공 능력

Semicorex는 고급 CNC 가공 및 정밀 제조 기술을 활용하여 엄격한 치수 공차와 복잡한 내부 구조를 달성합니다.

정확한 가공은 다음을 보장합니다.

* 적절한 원자로 설비

* 안정적인 가스 흐름 제어

* 안정적인 웨이퍼 포지셔닝

* 일관된 챔버 성능

특정 반응기 설계에 따라 복잡한 맞춤형 형상을 생산할 수도 있습니다.

강한 내화학성

에피택셜 공정에는 부식성 가스와 혹독한 작동 조건이 포함되는 경우가 많습니다. SiC 코팅 반응기 부품은 다음에 대한 탁월한 내성을 보여줍니다.

* 수소

* 염소 함유 가스

* 산성 세척 화학물질

* 고온 산화

이러한 화학적 내구성은 부품 수명을 크게 연장하고 유지 관리 빈도를 줄여줍니다.

에피택셜 성장 시스템의 응용

Half Moon Components는 다음을 포함하여 반도체 제조 응용 분야를 위한 고급 에피택셜 처리 장비에 널리 사용됩니다.

* 실리콘 에피택시

* SiC 에피택셜 성장

* GaN 에피택시

* 전력반도체 제조

* LED 생산

* 고급 웨이퍼 처리

* 고온 CVD 시스템

반응기 챔버 내부의 이러한 구성 요소는 가스 흐름 역학을 최적화하고 공정 균일성을 유지하며 중요한 챔버 영역을 열적 및 화학적 손상으로부터 보호하는 데 도움이 됩니다.

세미코렉스를 선택하는 이유는 무엇입니까?

Semicorex는 반도체 및 고온 산업 응용 분야를 위한 고급 흑연 및 탄화 규소 솔루션에 중점을 두고 있습니다. 에피택셜 반응기 부품에 대한 광범위한 경험을 바탕으로 당사는 장기적인 신뢰성과 반도체급 성능을 위해 설계된 정밀 엔지니어링 제품을 제공합니다.

우리의 장점은 다음과 같습니다:

* 고순도 원료

* 고급 SiC 코팅 기술

* 정밀 가공 능력

* 맞춤형 엔지니어링 지원

* 엄격한 품질 관리

* 글로벌 공급능력

Semicorex는 고급 소재 전문 지식과 맞춤형 제조 솔루션을 결합하여 전 세계 고객이 차세대 반도체 기술을 위한 안정적이고 효율적인 에피택시 성장 프로세스를 달성할 수 있도록 지원합니다.