ICP 실리콘 카본 코팅 흑연

Semicorex의 ICP Silicon Carbon Coated Graphite는 까다로운 웨이퍼 처리 및 박막 증착 공정에 이상적인 선택입니다. 당사의 제품은 우수한 내열성 및 내식성, 균일한 열 균일성 및 최적의 층류 가스 흐름 패턴을 자랑합니다.

문의 보내기

제품 설명

에피택셜 성장 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어는 고온과 가혹한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex ICP 실리콘 탄소 코팅 흑연 서셉터는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 당사의 제품은 고온과 가혹한 화학 세척을 견디도록 설계되어 수명과 최적의 결과를 보장합니다.
당사의 ICP 실리콘 탄소 코팅 흑연은 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 균일한 열 프로필을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
ICP Silicon Carbon Coated Graphite에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.

ICP 실리콘 탄소 코팅 흑연의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β 단계
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	J·kg-1·K-1	640
승화 온도	℃	2700
쇠약한 힘	MPa(RT 4점)	415
영률	GPA (4pt 굽힘, 1300â)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열 전도성	(W/mK)	300