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ICP 실리콘 카본 코팅 흑연

ICP 실리콘 카본 코팅 흑연

Semicorex의 ICP Silicon Carbon Coated Graphite는 까다로운 웨이퍼 처리 및 박막 증착 공정에 이상적인 선택입니다. 당사의 제품은 우수한 내열성 및 내식성, 균일한 열 균일성 및 최적의 층류 가스 흐름 패턴을 자랑합니다.

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제품 설명

에피택셜 성장 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어는 고온과 가혹한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex ICP 실리콘 탄소 코팅 흑연 서셉터는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 당사의 제품은 고온과 가혹한 화학 세척을 견디도록 설계되어 수명과 최적의 결과를 보장합니다.
당사의 ICP 실리콘 탄소 코팅 흑연은 최고의 층류 가스 흐름 패턴을 달성하도록 설계되어 균일한 열 프로필을 보장합니다. 이는 오염이나 불순물 확산을 방지하여 웨이퍼 칩에서 고품질 에피택셜 성장을 보장합니다.
ICP Silicon Carbon Coated Graphite에 대해 자세히 알아보려면 지금 문의하십시오.


ICP 실리콘 탄소 코팅 흑연의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


ICP 실리콘 카본 코팅 흑연의 특징

- 박리를 피하고 모든 표면에 코팅을 하십시오.

고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적

고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착에 의해 만들어집니다.

내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세 입자.

내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.

- 최고의 층류 가스 흐름 패턴 달성

- 열 프로파일의 균일성 보장

- 오염이나 불순물 확산 방지





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