실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어

에칭 공정을 위한 신뢰할 수 있는 웨이퍼 캐리어를 찾고 계십니까? Semicorex의 실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어만 있으면 됩니다. 당사의 제품은 고온 및 가혹한 화학 세척을 견디도록 설계되어 내구성과 수명을 보장합니다. 표면이 깨끗하고 매끄러운 당사 캐리어는 깨끗한 웨이퍼를 취급하는 데 적합합니다.

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제품 설명

Semicorex의 실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어로 최적의 층류 가스 흐름 패턴과 열 프로필의 균일성을 보장합니다. 당사의 제품은 박막 증착 및 웨이퍼 처리 공정에서 최상의 결과를 달성하도록 설계되었습니다. 우수한 내열성 및 내식성을 갖춘 당사 캐리어는 까다로운 응용 분야에 완벽한 선택입니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 우리의 실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어는 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

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실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양
SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β 단계
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	J·kg-1·K-1	640
승화 온도	℃	2700
쇠약한 힘	MPa(RT 4점)	415
영률	GPA (4pt 굽힘, 1300â)	430
열팽창(C.T.E)	10-6K-1	4.5
열 전도성	(W/mK)	300