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실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어

실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어

에칭 공정을 위한 신뢰할 수 있는 웨이퍼 캐리어를 찾고 계십니까? Semicorex의 실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어만 있으면 됩니다. 당사의 제품은 고온 및 가혹한 화학 세척을 견디도록 설계되어 내구성과 수명을 보장합니다. 표면이 깨끗하고 매끄러운 당사 캐리어는 깨끗한 웨이퍼를 취급하는 데 적합합니다.

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제품 설명

Semicorex의 실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어로 최적의 층류 가스 흐름 패턴과 열 프로필의 균일성을 보장합니다. 당사의 제품은 박막 증착 및 웨이퍼 처리 공정에서 최상의 결과를 달성하도록 설계되었습니다. 우수한 내열성 및 내식성을 갖춘 당사 캐리어는 까다로운 응용 분야에 완벽한 선택입니다.

Semicorex는 고객에게 고품질의 비용 효율적인 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 우리의 실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어는 가격 이점이 있으며 많은 유럽 및 미국 시장에 수출됩니다. 우리는 일관된 품질의 제품과 탁월한 고객 서비스를 제공하는 장기적인 파트너가 되는 것을 목표로 합니다.

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실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어의 매개변수

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조

FCC β 단계

밀도

g/cm ³

3.21

경도

비커스 경도

2500

입자 크기

μm

2~10

화학적 순도

%

99.99995

열용량

J·kg-1·K-1

640

승화 온도

2700

쇠약한 힘

MPa(RT 4점)

415

영률

GPA (4pt 굽힘, 1300â)

430

열팽창(C.T.E)

10-6K-1

4.5

열 전도성

(W/mK)

300


실리콘 카바이드 ICP 에칭 캐리어의 특징

- 박리를 피하고 모든 표면에 코팅을 하십시오.

고온 내산화성: 최대 1600°C의 고온에서 안정적

고순도: 고온 염소화 조건에서 CVD 화학 기상 증착에 의해 만들어집니다.

내식성: 높은 경도, 조밀한 표면 및 미세 입자.

내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약.

- 최고의 층류 가스 흐름 패턴 달성

- 열 프로파일의 균일성 보장

- 오염이나 불순물 확산 방지





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