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단열재 커버
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단열재 커버

Semicorex 단열 덮개는 LPE 용광로에서 최적의 성능을 위해 설계된 중요한 열 관리 구성 요소로, 고강도 강성 펠트 재료를 사용하여 일관된 에피 택셜 성장 조건을 보장합니다. 프로세스 안정성, 수율 및 장비 장수를 향상시키는 정밀 엔지니어링 고급 용광로 구성 요소를 제공하는 입증 된 전문 지식을 위해 Semicorex를 선택하십시오.*

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제품 설명

Semicorex 단열 덮개는 액체 상 에피 택시 (LPE) 용광로에 사용하도록 특별히 설계되어 에피 택셜 성장 공정 동안 우수한 열 관리를 제공합니다. LPE 시스템의 필수 액세서리로 설계된이 절연 커버는 일관된 퍼니스 온도 프로파일을 유지하고 열 손실을 최소화하며 전반적인 공정 안정성을 향상시키는 데 중요한 역할을합니다.


우리의 단열재 커버는 높은 작동 온도에서 우수한 열 절연 특성, 기계적 강도 및 치수 안정성을 제공합니다. 그만큼단단한 느낌건설은 커버가 강렬한 열 사이클에 장기간 노출 된 후에도 모양과 절연 성능을 유지하도록 보장하며, 이는 깨끗하고 제어 된 에피 택셜 성장 환경을 유지하는 데 중요합니다.


절연 덮개는 LPE 퍼니스 챔버 내에 맞도록 정확하게 제조되며, 기판 웨이퍼가 처리되는 열 영역을 보호하고 안정화시키기 위해 배치됩니다. 열 소산 및 외부 온도 변동을 효과적으로 감소시킴으로써, 이들은보다 균일 한 열전대에 기여하여 에피 택셜 층의 결정질 품질과 재현성을 향상시킨다.


흑연 펠트 펠트강화 복합성 하드 펠트 또는 경화 펠트 (일반적으로 탄소 섬유 복합 하드 펠트라고도 함)라고도하는 (탄소 섬유 강화)는 열 단열재입니다. 본체 (탄소 섬유) 및 보조 재료 (예 : 열 세트 수지, 탄소 종이, 흑연 종이 등)로 구성된 것으로 간주 될 수 있습니다. 일반적인 제조 공정은 흑연 용지, 폴리 아크릴로 니트릴 기반 탄소 펠트 및 폴리 아크릴로 니트릴 기반 탄소 천을 하나로 결합한 다음 치료하고 형성 한 다음 고온에서 한두 번 처리하는 것입니다. 짧은 탄소 섬유 스크랩은 또한 재활용을 통해 탄소 섬유 펠트를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 동시에, 탄소 섬유의 다른 유형의 원료에 따르면, 하드 펠트는 아스팔트 기반 하드 펠트, 폴리 아크릴로 니트릴 기반 하드 펠트 및 비oScose 기반 하드 펠트로 나눌 수 있습니다.


라미네이션 방법은 열 세트 수지와 함께 층에 의해 얇은 탄소 섬유 펠트 층을 결합하는 것이다. Prepregs를 상단 및 하부 평평한 곰팡이 사이에 층별로 배치하고 압력과 고온하에 경화 함으로써이 공정은 목재 합판의 생산 방법과 장비를 직접 사용하여 수지의 흐름 특성에 따라 개선하고 완성 할 수 있습니다. 이 성형 공정은 주로 다른 사양과 다른 용도의 복합 재료를 생성하는 데 사용됩니다.


바늘 펀치 적분 구조는 바늘 펀칭 공정을 통해 탄소 섬유를 특정 두께의 펠트 몸체에 연결하여 단단한 탄소 섬유 적분 펠트를 제조하는 방법을 말합니다. 이 방법은 불충분 한 가로 전단 강도, 쉬운 해부 및 균열 및 고르지 않은 전반적인 밀도 및 성능과 같은 전통적인 라미네이션 방법에 의해 준비된 강성 탄소 섬유 적분감의 단점을 극복 할뿐만 아니라 3 차원 직조 구조에 비해 간단한 공정, 저비용 및 단기주기의 특성을 갖습니다.

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