MOCVD 히터

이 히터는 고순도 흑연을 사용하여 제작되었으며, 불순물 수준은 5ppm(백만분율) 미만으로 꼼꼼하게 제어됩니다. 흑연에 화학기상증착(CVD) 실리콘카바이드(SiC)를 코팅해 99.99995%가 넘는 순도를 자랑한다. 이러한 재료의 조합은 금속-유기 화학 기상 증착(MOCVD) 공정에서 최적의 성능을 달성하는 데 필수적인 고유한 특성 세트를 히터에 부여합니다.

Semicorex MOCVD Heater의 가장 주목할만한 특징 중 하나는 탁월한 화학적 순도입니다. 고순도 흑연 코어는 고온 공정 시 오염 물질 유입을 대폭 최소화하여 초청정 박막 증착을 보장합니다. CVD SiC 코팅은 이러한 순도를 더욱 향상시켜 증착된 층의 무결성을 손상시킬 수 있는 화학적 상호 작용에 대한 강력한 장벽을 제공합니다. 이러한 높은 수준의 화학적 순도는 우수한 성능과 신뢰성을 갖춘 반도체 장치를 생산하는 데 중요합니다.

또한 히터는 매우 견고하고 열 효율적이므로 MOCVD 공정의 일반적인 극한 열 조건을 견딜 수 있습니다. 높은 융점 및 열 전도성과 같은 SiC의 고유 특성은 열을 효율적으로 관리하고 분배하는 히터의 능력에 기여합니다. 이러한 열 효율은 기판 전체에 걸쳐 균일한 가열을 보장하며, 이는 균일한 필름 증착을 달성하고 결함으로 이어질 수 있는 열 구배를 최소화하는 데 필수적입니다.

전기 전도성은 Semicorex MOCVD 히터가 뛰어난 또 다른 영역입니다. 고순도 흑연 코어는 탁월한 전기 전도성을 제공하므로 히터가 높은 전기 부하를 쉽게 처리할 수 있습니다. 이 기능은 온도와 증착 속도에 대한 정밀한 제어가 필요한 MOCVD 공정에서 특히 중요합니다. 높은 부하에서 안정적인 전기 성능을 유지하는 히터의 능력은 고수율 반도체 제조에 필수적인 일관되고 재현 가능한 공정 조건을 보장합니다.

히터의 평평한 표면은 기판에 더 높은 방사율을 제공하도록 세심하게 설계되어 복사열 전달 효율을 향상시킵니다. 이 설계 기능은 기판이 균일한 가열을 받도록 보장하며, 이는 일관된 두께와 특성을 가진 고품질 박막을 얻는 데 중요합니다. 방사율이 높은 표면은 히터의 전반적인 열 효율에도 기여하여 에너지 소비와 운영 비용을 줄여줍니다.

내구성 측면에서 Semicorex MOCVD Heater는 뛰어난 내식성, 불산화성 및 높은 기계적 강도를 제공합니다. CVD SiC 코팅은 MOCVD 공정에서 일반적으로 발생하는 부식성 가스 및 화학 물질에 저항하는 견고한 보호층을 제공합니다. 이러한 내식성은 히터의 작동 수명을 연장하고 유지 관리 및 교체 비용을 줄입니다. 히터의 불산화성은 고온에서도 안정성을 유지하고 성능이 저하되지 않도록 보장하여 장기간 작동해도 성능과 구조적 무결성을 유지합니다.

마지막으로 히터의 높은 기계적 강도 덕분에 열 순환 및 기판 취급과 관련된 물리적 응력을 견딜 수 있습니다. 이러한 견고성은 기계적 고장의 위험을 최소화하여 안정적이고 지속적인 작동을 보장합니다.