SiC 코팅 히터

세미코렉스 SiC 코팅히터의 장점

1. 반응성 환경에 대한 강력한 보호

Semicorex SiC 코팅 히터의 CVD SiC 코팅은 MOCVD 및 EPI 공정에서 발생하는 반응성 및 부식성 환경에 대해 강력한 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 고밀도 SiC 코팅은 강력한 장벽 역할을 하여 발열체가 손상되지 않도록 보호합니다. 이러한 보호는 일관되고 안정적인 성능을 보장하여 가동 중지 시간과 유지 관리 비용을 줄여줍니다.

2. 향상된 열 안정성 및 효율성

SiC 코팅의 뛰어난 열 특성은 히터의 열 안정성과 효율성을 향상시키는 데 기여합니다. 성능 저하 없이 고온을 견딜 수 있는 코팅의 능력은 SiC 코팅 히터가 장기간에 걸쳐 성능을 유지하도록 보장합니다. 이러한 열 안정성은 반도체 공정에서 정밀한 온도 제어를 달성하여 장치 품질과 수율을 향상시키는 데 중요합니다.

3. 고순도 및 저오염

SiC 코팅의 순도가 매우 높아 반도체 제조 공정에서 오염을 최소화합니다. 불순물이 5ppm 미만인 당사의 코팅은 반도체 장치의 성능과 신뢰성에 영향을 미칠 수 있는 오염 물질을 유입하지 않습니다. 이러한 높은 순도는 반도체 제조에 필요한 엄격한 표준을 유지하는 데 필수적입니다.

4. 최적의 성능을 위한 맞춤화 가능성

다양한 표면 거칠기와 코팅 두께를 제공하기 위해 SiC 코팅 공정을 맞춤화하는 능력을 통해 특정 용도에 맞게 히터 성능을 최적화할 수 있습니다. 이러한 맞춤화를 통해 각 SiC 코팅 히터가 의도된 용도에 완벽하게 적합하도록 보장하여 제조 공정의 전반적인 효율성과 신뢰성을 향상시킵니다.

5. 내구성과 수명

Semicorex SiC 코팅 히터의 CVD SiC 코팅은 뛰어난 접착력과 내구성으로 극한 조건에서도 장기간 효과를 유지합니다. 이러한 내구성으로 인해 빈번한 교체 및 유지 관리의 필요성이 줄어들어 운영 비용이 절감되고 생산성이 향상됩니다. 코팅의 균열 저항성은 수명을 더욱 향상시켜 일관된 보호 및 성능을 보장합니다.

반도체 제조 분야의 응용

Semicorex SiC 코팅 히터는 반도체 산업의 다양한 고온 공정에 없어서는 안 될 제품입니다. 이 히터는 다음과 같은 경우에 특히 중요합니다.

MOCVD 공정: 금속-유기 화학 기상 증착은 화합물 반도체 제조의 중추적인 공정입니다. 이러한 환경에서 Semicorex SiC 코팅 히터의 CVD SiC 코팅은 히터를 강력하게 보호하여 일관되고 안정적인 증착을 보장합니다.

EPI 공정: 에피택셜 성장 공정에는 정밀한 온도 제어와 반응성 가스에 대한 보호가 필요합니다. 당사의 SiC 코팅은 이러한 조건에서 탁월한 성능을 발휘하여 발열체의 무결성과 성능을 유지합니다.