Semicorex 흑연 센터 플레이트 또는 MOCVD 서셉터는 화학 기상 증착(CVD) 방법으로 코팅된 고순도 탄화규소로, 웨이퍼 칩에 에피택셜 층을 성장시키는 공정에 사용됩니다. SiC 코팅된 서셉터는 MOCVD의 핵심 부품이므로 우수한 내열성, 내화학성, 높은 열 균일성이 요구됩니다. 우리는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계했습니다.
Semicorex는 SiC 코팅 MOCVD 서셉터의 선도적인 제조업체이자 공급업체입니다. 당사의 제품은 반도체 산업에서 웨이퍼 칩의 에피택셜 층을 성장시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 고순도 탄화규소 코팅 흑연 캐리어는 기어 또는 링 모양 디자인으로 MOCVD의 중앙 플레이트로 사용됩니다. 당사의 서셉터는 MOCVD 장비에 널리 사용되어 높은 내열성 및 내식성을 보장하며 극한 환경에서도 뛰어난 안정성을 보장합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex는 중국 내 실리콘 카바이드 코팅 흑연 서셉터의 대규모 제조업체이자 공급업체입니다. 탄화규소층, 에피택시 반도체 등 반도체 산업에 주력하고 있습니다. 당사의 MOCVD용 SiC 코팅 흑연 서셉터는 가격 경쟁력이 뛰어나며 유럽과 미국 시장 대부분을 포괄합니다. 우리는 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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