ALN 히터는 무엇입니까?

알루미늄 질화물 (ALN) 세라믹 히터반도체의 경우 반도체 재료를 가열하는 데 사용되는 장치입니다. 주로 알루미늄 질화물 세라믹 물질로 만들어졌으며 우수한 열 전도도와 고온 저항을 가지며 고온에서 안정적으로 작동 할 수 있습니다. ALN 히터는 일반적으로 저항 와이어를 가열 요소로 사용합니다. 저항 와이어를 가열하기 위해 에너지를 가열함으로써, 열은 히터 표면으로 전달되어 반도체 재료를 가열한다. 반도체 용 ALN 히터는 반도체 생산 공정에서 중요한 역할을하며 결정 성장, 어닐링 및 베이킹과 같은 공정에 사용될 수 있습니다. 반도체의 글로벌 ALN 히터 시장은 2022 년에 미화 5 억 5,500 만 달러로 전년 대비 7.13%증가했습니다. 시장 규모는 2029 년에 2023 년에서 2029 년까지 6.72%의 복합 성장률 (CAGR)으로 2029 년에 미화 8 억 8,210 만 달러에이를 것으로 예상됩니다.

처리의 기술적 어려움ALN 히터

1. ALN 히터 가공 중에, 재료의 내부 응력의 변화로 인해 쉽게 파손되고 붕괴되므로 완제품의 자격을 갖춘 속도에 영향을 미칩니다. 알루미늄 질화물 세라믹 재료의 생산은 쉽지 않으며 ALN 히터의 낮은 수율은 또한 알루미늄 질화물 세라믹 가열 플레이트의 높은 가격에 대한 중요한 이유 중 하나입니다.

2. 알루미늄 질화물 세라믹 재료 자체의 문제. 알루미늄 질화물 세라믹 재료 생산 산업에서, 재료 자체의 구조는 다른 온도 및 환경 조건 하에서 그에 따라 변할 것이다. 알루미늄 질화물 세라믹 물질 자체의 생산은 비교적 어려운 작업입니다. 재료의 낮은 품질은 또한 자격을 갖춘 ALN 히터 비율의 중요한 이유입니다.

열 전도성에 영향을 미치는 요인

알루미늄 질화물 세라믹의 열전도율에 영향을 미치는 주요 요인은 격자 밀도, 산소 함량, 분말 순도, 미세 구조 등으로, 이는 알루미늄 질화물 세라믹의 열전도율에 영향을 미칩니다.

격자의 밀도

알루미늄 질화물 세라믹 재료의 열전도율에 따르면, 저밀도 샘플에 다수의 기공이 존재하면 포논의 산란에 영향을 미치고 평균 자유 경로를 감소시켜 알루미늄 질화물 세라믹의 열전도율을 줄입니다. 동시에, 저밀도 샘플의 기계적 특성은 관련 응용 프로그램 요구 사항을 충족하지 못할 수 있습니다. 따라서, 고밀도는 알루미늄 질화물 세라믹이 높은 열전도율을 갖기위한 전제 조건이다.

산소 함량 및 불순물

알루미늄 질화물 세라믹의 경우, 산소에 대한 강한 친화력으로 인해 산소 불순물은 소결 공정 동안 ALN 격자로 쉽게 확산되기 쉬우 며, 이는 다양한 결함과 직접 관련이 있으며 알루미늄의 열전도도에 영향을 미치는 주요 공급원입니다. 포논-방어의 산란에서, 주요 역할은 불순물 산소와 산화 알루미늄의 존재에 의해 수행된다. 알루미늄 질화물은 가수 분해 및 산화가 쉽기 때문에, 산화 알루미늄 필름의 층이 표면에 형성되고, 알루미늄 산화 알루미늄은 알루미늄 공석을 생성하기 위해 알루미늄 질화물 격자로 용해됩니다.

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