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캔틸레버 패들 알기

2023-06-26

처리하는 동안 반도체 웨이퍼는 일반적으로 특수 용광로에서 가열해야 합니다. 이러한 용광로는 일반적으로 길고 얇은 원통형 튜브로 구성됩니다. 웨이퍼는 로 또는 반응기의 원형 단면에 의해 정의된 평면을 따라 배열되고 웨이퍼의 중심축을 따라 미리 정해진, 일반적으로 동일한 간격의 지점에서 이격되는 방식으로 로 및 반응기에 배치됩니다. 용광로 또는 반응기. 이러한 배치를 달성하기 위해 웨이퍼는 일반적으로 웨이퍼 보트라고 하는 슬롯이 있는 홀더에 배치되며, 이 홀더는 웨이퍼를 중심 축을 따라 정렬된 간격 구성으로 배치합니다.

 

처리할 웨이퍼 배치를 포함하는 작은 보트는 튜브형 용광로와 반응기를 삽입하고 빼낼 수 있는 긴 캔틸레버 패들에 배치됩니다. 이러한 패들은 일반적으로 하나 이상의 소형 보트를 놓을 수 있는 편평한 캐리어 섹션과 편평한 캐리어 섹션의 한쪽 끝에 위치하여 패들을 다룰 수 있는 긴 손잡이를 포함합니다. 일반적으로 핸들과 캐리어 부분 사이에 전환 부분이 형성되어 전체를 만듭니다. 또한 손잡이는 용광로 또는 반응기 외부로 연장되어 그것과 웨이퍼 보트를 조작할 수 있어야 합니다.

 

퍼니스 또는 반응기 내에서 웨이퍼 선박의 위치 지정은 각 웨이퍼의 중심을 퍼니스 또는 반응기의 중심 축에 가능한 한 가깝게 배치하여 웨이퍼가 받는 균일한 처리 조건을 달성하는 것이 바람직하기 때문에 중요합니다. 따라서 패들은 웨이퍼를 실은 선박의 무게로 인한 패들의 휨을 패들 설계에서 고려해야 하며, 특히 패들은 한쪽 끝, 즉 노실에서 돌출된 단부에서만 지지되기 때문이다. 작동 중량 요구 사항으로 인한 패들 설계를 고려하는 것 외에도 패들의 확장된 끝을 제 위치에 정확하게 고정하도록 설계된 클램프 세트도 사용해야 합니다. 이러한 클램프는 사용이 간단하고 클램핑 중에 패들이 손상될 가능성을 최소화하면서 패들을 정확하게 원하는 위치에 유지하기 위해 매우 견고해야 합니다.

 

따라서 기존 클램핑 시스템과의 호환성을 유지하면서 더 무거운 하중에 사용할 수 있는 캔틸레버 패들이 필요했습니다. 함께 사용할 수 있는 전체 중량 하중 범위에 걸쳐 허용 가능한 편향 특성을 나타내는 캔틸레버 패들이 필요했습니다.

 

안티레버 패들은 CVD SiC 박층이 있는 재결정 실리콘 카바이드를 사용하는 것이 좋습니다. 이는 고순도이며 반도체 공정의 부품에 가장 적합합니다.

 

세미코렉스가 제공할 수 있는고품질캔틸레버 패들그리고도면 및 작업 환경에 따른 맞춤형 서비스.

 

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