다공성 탄소 또는 다공성 흑연 재료로도 알려진 다공성 흑연은 구조 내에 기공 또는 공극의 상호 연결된 네트워크를 갖도록 특별히 가공된 흑연 형태입니다.
압축 성형, 등압 성형 및 막대 압출은 흑연 튜브를 만드는 데 사용되는 것과 유사한 흑연 막대를 생산하는 가장 일반적인 세 가지 방법입니다.
SiC 웨이퍼를 지지하는 트레이(베이스), 일명 '서셉터'는 반도체 제조 장비의 핵심 부품이다. 웨이퍼를 운반하는 이 서셉터는 정확히 무엇입니까?
확산로는 제어된 방식으로 반도체 웨이퍼에 불순물을 도입하는 데 사용되는 특수 장비입니다. 도펀트라고 불리는 이러한 불순물은 반도체의 전기적 특성을 변화시켜 다양한 유형의 전자 부품을 만들 수 있게 해줍니다. 이러한 제어된 확산 공정은 트랜지스터, 다이오드 및 집적 회로 생산에 중요합니다.
처리할 웨이퍼 묶음이 적재된 웨이퍼 보트는 긴 캔틸레버식 패들 위에 위치합니다.
등방성 흑연 제조 공정은 원료 선정, 혼합, 성형, 등방성 프레싱, 탄화, 흑연화의 순으로 진행됩니다.