탄탈륨 카바이드 코팅은 가장 높은 내열성을 지닌 여러 화합물 중 하나인 최대 4273°C의 융점을 갖는 중요한 고강도, 내부식성 및 화학적으로 안정적인 고온 구조 재료입니다. 이는 우수한 고온 기계적 특성, 고속 기류 정련에 대한 저항성, 내마모성 및 흑연 및 탄소/탄소 복합재와의 우수한 화학적 및 기계적 호환성을 갖추고 있습니다. 따라서 MOCVD 등 GaN LED 및 SiC 전력소자의 에피택셜 공정에서 TaC 코팅은 H2, HCl, NH3에 대한 내산성 및 내알칼리성이 우수하여 흑연 기판 소재를 완벽하게 보호하고 성장 환경을 정......
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