Semicorex의 ICP 에칭 프로세스용 SiC 플레이트는 박막 증착 및 웨이퍼 핸들링에서 고온 및 가혹한 화학 처리 요구 사항을 위한 완벽한 솔루션입니다. 당사 제품은 우수한 내열성과 균일한 열 균일성을 자랑하여 일관된 에피층 두께와 저항성을 보장합니다. 깨끗하고 매끄러운 표면을 갖춘 당사의 고순도 SiC 크리스탈 코팅은 깨끗한 웨이퍼에 대한 최적의 핸들링을 제공합니다.
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