세라믹 정전척

알루미나 세라믹으로 제작된 Semicorex 세라믹 정전 척은 다양한 제조 공정에서 반도체 웨이퍼를 안전하게 고정하는 데 필수적입니다. 재료 특성의 고유한 조합을 통해 이 세라믹 정전기 척은 반도체 장치 생산 전반에 걸쳐 정밀도, 신뢰성 및 효율성을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다.

세라믹 정전 척의 중심에는 탁월한 물리적, 화학적 특성으로 업계에서 높이 평가되는 소재인 알루미나 세라믹이 있습니다. 알루미나(Al2O3)는 ESC와 관련하여 매우 중요한 뛰어난 전기 절연 기능으로 잘 알려져 있습니다. 반도체 처리 중에 웨이퍼는 제조되는 섬세한 회로에 영향을 미칠 수 있는 전기적 간섭 없이 단단히 고정되어야 합니다. 알루미나 세라믹의 높은 유전 강도는 척이 방전 위험 없이 필요한 고전압에서 작동할 수 있도록 보장하여 웨이퍼 위치와 무결성을 유지하는 데 필수적인 안정적이고 신뢰할 수 있는 클램핑력을 제공합니다.

세라믹 정전기 척은 알루미나 세라믹 내에 내장된 전극을 통해 정전기장을 생성하여 작동합니다. 전압이 가해지면 결과 필드는 척 표면의 제 위치에 웨이퍼를 단단히 고정하는 강력한 조임력을 생성합니다. 이 비기계적 클램핑 방법은 물리적 접촉을 최소화하고 웨이퍼에 대한 오염 및 기계적 손상 위험을 줄이기 때문에 반도체 처리에 특히 유리합니다. 이는 아주 작은 결함이라도 상당한 수율 손실을 초래할 수 있는 고급 노드에 특히 중요합니다.

세라믹 정전척의 뛰어난 특징 중 하나는 열 성능입니다. 반도체 공정에는 고온이 수반되는 경우가 많으며, 이로 인해 웨이퍼에 열 응력이 발생할 수 있습니다. 알루미나 세라믹은 우수한 열전도율로 인해 세라믹 정전 척이 가공 중에 발생하는 열을 효율적으로 방출할 수 있는 것으로 평가됩니다. 이러한 열 관리 기능은 웨이퍼 전체에 균일한 온도 분포를 유지하여 뒤틀림이나 미세 균열로 이어질 수 있는 열 구배를 줄이는 데 필수적입니다. 알루미나 세라믹이 제공하는 안정성은 포토리소그래피 및 에칭과 같은 중요한 공정이 정밀하게 수행되어 제조 주기 전반에 걸쳐 웨이퍼의 무결성을 유지하도록 보장합니다.

또한, 알루미나 세라믹의 기계적 견고성은 ESC의 내구성과 수명에 크게 기여합니다. 반도체 제조에서 세라믹 정전 척은 웨이퍼 배치, 처리 및 제거의 반복적인 주기를 거칩니다. 알루미나의 내마모성은 척이 심각한 성능 저하 없이 이러한 사이클을 견딜 수 있도록 보장합니다. 이러한 내마모성은 척의 수명을 연장할 뿐만 아니라 웨이퍼를 오염시키고 장치 품질을 저하시킬 수 있는 입자 생성 가능성을 줄여줍니다. 또한 재료의 경도는 척 표면이 부드럽고 균일하게 유지된다는 것을 의미하며, 이는 일관된 클램핑력을 유지하고 웨이퍼 손상을 방지하는 데 중요한 요소입니다.