PSS(Patterned Sapphire Substrate) 에칭 캐리어는 LED 장치 제조에 사용됩니다. PSS 식각 캐리어는 LED 구조를 형성하는 질화갈륨(GaN) 박막의 성장을 위한 기판 역할을 한 다음 식각 공정을 경험합니다. 따라서 내열성 및 내식성이 우수한 소재가 요구됩니다. Semicorex SiC 코팅 PSS 에칭 캐리어는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 제작되었습니다. 캐리어는 CVD법으로 탄화규소를 코팅한 것으로 열전도율이 높고 열분산성이 우수합니다.
에피셜 성장 및 웨이퍼 핸들링 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어는 고온과 가혹한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex SiC 코팅 PSS 에칭 캐리어는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 우리의 제품은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 많은 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
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