강성 단열재

Semicorex 강성 단열재는 독특한 어셈블리 구조, 높은 저항력, 스파크 예방 및 우수한 열 절연 성능을 갖춘 SIC 에피 택셜 프로세스를 위해 특별히 설계되었습니다. 강성 단열재는 프리미엄 짧은 세라믹 섬유로 만들어진 고성능 열 장벽입니다. 이 강한 단열재는 단단한 펠트 구조로 설계된이 강한 단열재는 우수한 기계적 강도와 우수한 열 절연 특성을 결합하여 반도체 제조 환경 내부의 까다로운 조건에 이상적입니다.

반도체 등급 실리콘 및 실리콘 카바이드는 일반적으로 단결정 실리콘 당기 용광로 및 실리콘 카바이드 단일 결정 성장 용광로와 같은 특정기구를 사용하여 고온 환경에서 준비해야하며, 제조 환경에 대한보다 엄격한 요구 사항이 있습니다. 예를 들어, 제조 온도의 유지 및 외부 불순물 간섭의 감소. 이러한 이유로, 고급 탄소 섬유에서 짜여진 열 단열재가 생겨 났으며, 쉬운 성형, 파손이 쉬운, 강한 열 절연 성능 및 낮은 불순물 함량으로 인해 반도체가 탄생하기 전에 진정한 "따뜻한 의류"가되었습니다.

팬 기반 탄소 섬유 펠트 및 비스코스 기반 탄소 섬유 펠트를 사용하여 원료로, 강성 단열재는 담그기, 결합, 경화, 열처리 및 가공과 같은 공정을 통해 준비됩니다. 분말 야금 산업 용광로, 진공 소결 용광로, 광전지 단결정 용광로, 다결정 용광로 및 반도체 결정 성장 용광로와 같은 고온 장비에 널리 사용됩니다. 압축 저항성이 우수하고 열 절연 성능이 우수합니다. 부드러운 펠트와 비교할 때 강성 단열재는 쉽게 설치, 안정적인 크기, 낮은 열 절연 감쇠 및 긴 서비스 수명의 장점이 있습니다.