SiC 코팅 가스 전환 디스크

첨단 반도체급 소재와 첨단 제조기술의 모범 사례로 우뚝 선 세미코렉스SiC 코팅가스 전환 디스크는 화학 기상 증착을 통해 조밀한 SiC 코팅이 적용된 고순도 흑연을 매트릭스로 사용하여 정밀하게 제조됩니다. 가스 전환 디스크는 주로 웨이퍼 표면 전체에 반응 가스를 고르게 분배하여 처리 중 완전한 반응을 보장함으로써 일관되고 균일한 단결정 박막의 형성을 촉진하도록 설계되었습니다.

Semicorex SiC 코팅 가스 전환 디스크의 장점

1. 높은 재료 순도

Semicorex는 신중한 재료 선택부터 엄격한 제품 품질 표준을 유지합니다. 이러한 엄격한 원료 순도 관리 덕분에 Semicorex SiC 코팅 가스 전환 디스크는 불순물 함량이 낮고 뛰어난 청정도를 자랑합니다. 이는 금속 이온 및 기타 오염 물질이 반도체 에피택셜 공정을 손상시키는 것을 크게 방지할 수 있습니다.

2.우수한 열안정성

반도체 에피텍셜 장비는 일반적으로 1400°C 이상의 온도에서 작동하기 때문에 이러한 시스템에 사용되는 구성 요소는 탁월한 열 안정성이 필요합니다. 이러한 탁월한 열 안정성은 Semicorex SiC 코팅 가스 전환 디스크가 까다로운 고온 작동 조건을 견딜 수 있도록 보장하고 작동 중 고온으로 인한 불순물 방출을 효과적으로 방지할 수 있어 에피택셜 웨이퍼의 품질과 수율을 보장하는 데 도움이 됩니다.

3. 놀라운 고온 내식성

보호되지 않은 흑연 매트릭스는 부식 및 입자 생성이 발생하기 쉽기 때문에 가스 전환 디스크는 일반적으로 내식성을 향상시키기 위해 탄화규소 코팅으로 처리됩니다. 조밀한 SiC 코팅으로 덮인 Semicorex SiC 코팅 가스 전환 디스크는 탁월한 산화 및 화학적 부식 저항성을 제공하므로 까다로운 고온 및 부식성 작동 조건에서도 긴 서비스 수명 동안 안정적으로 작동할 수 있습니다.

4. 유연한 사용자 정의 기능

Semicorex는 CNC 가공 장비, 표면 연삭기, 초음파 드릴링 장비 등 다양한 첨단 가공 장비를 갖추고 있어 숙련된 가공 능력을 제공합니다. Semicorex는 고객 도면에 따라 유연한 맞춤 서비스를 제공하고 SiC 코팅 가스 전환 디스크의 치수, 공차, 표면 평탄도, 구멍 직경 및 구멍 간격을 맞춤화하여 고객의 에피택시 장비와의 원활한 호환성을 보장할 수 있습니다.