Semicorex는 반도체 공정 개선을 위한 파트너입니다. 당사의 탄화규소 코팅은 조밀하고 고온이며 내화학성이 있어 반도체 웨이퍼 및 웨이퍼 가공, 반도체 제조를 포함한 반도체 제조의 전체 주기에 자주 사용됩니다.
고순도 SiC 세라믹 부품은 반도체 공정에 매우 중요합니다. 당사의 제품은 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트, 캔틸레버 패들, 튜브 등과 같은 웨이퍼 처리 장비용 소모품 부품부터 Epitaxy 또는 MOCVD용까지 다양합니다.
반도체 공정의 장점
에피택시나 MOCVD와 같은 박막 증착 단계나 에칭이나 이온 주입과 같은 웨이퍼 처리 공정에서는 고온과 혹독한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. Semicorex는 고순도 탄화규소(SiC) 구조를 공급하여 뛰어난 내열성과 내구성 있는 내화학성을 제공하며 균일한 열 균일성을 제공하여 일관된 에피층 두께와 저항성을 제공합니다.
챔버 뚜껑 →
결정 성장 및 웨이퍼 처리 공정에 사용되는 챔버 뚜껑은 고온과 혹독한 화학적 세척을 견뎌야 합니다.
캔틸레버 패들 →
캔틸레버 패들은 반도체 제조 공정, 특히 확산 및 RTP와 같은 공정 중 확산 또는 LPCVD로에서 사용되는 중요한 구성 요소입니다.
프로세스 튜브 →
Process Tube는 RTP, Diffusion 등 다양한 반도체 처리 응용 분야에 특별히 설계된 중요한 구성 요소입니다.
웨이퍼 보트 →
웨이퍼 보트는 반도체 공정에 사용되며 생산의 중요한 단계에서 섬세한 웨이퍼가 안전하게 유지되도록 세심하게 설계되었습니다.
입구 링 →
MOCVD 장비에 의한 SiC 코팅 가스 유입 링 복합 성장은 내열성과 내식성이 뛰어나 극한 환경에서도 안정성이 뛰어납니다.
초점 링 →
Semicorex는 탄화 규소 코팅 초점 링을 공급하여 RTA, RTP 또는 혹독한 화학 세척에 매우 안정적입니다.
웨이퍼 척 →
Semicorex 울트라 플랫 세라믹 진공 웨이퍼 척은 웨이퍼 핸들링 공정에 사용되는 고순도 SiC 코팅입니다.
세미코렉스는 또한 알루미나(Al2O3), 실리콘 질화물(Si3N4), 알루미늄 질화물(AIN), 지르코니아(ZrO2), 복합 세라믹 등의 세라믹 제품도 보유하고 있습니다.
Semicorex Silicon Nitride Bearing은 엔지니어링 우수성의 정점을 나타내며 다양한 산업 응용 분야에서 비교할 수 없는 성능과 신뢰성을 제공합니다. 탁월한 강도, 내구성 및 다용도로 유명한 실리콘 질화물 베어링은 항공우주 및 자동차부터 의료 및 제조에 이르기까지 다양한 부문에서 선호되는 선택이 되었습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex Silicon Nitride 디스크는 실리콘과 질소의 탁월한 특성을 다양하고 견고한 디스크 모양 형태로 결합하여 재료 과학 혁신의 정점을 나타냅니다. 첨단 제조 공정을 통해 제작된 이 질화규소 디스크는 높은 열 안정성, 우수한 기계적 강도, 탁월한 내마모성 및 탁월한 화학적 불활성을 구현합니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex 알루미나 플레이트 플랜지는 세라믹 엔지니어링 분야의 다양성과 성능의 정점을 나타냅니다. 탁월한 특성으로 유명한 소재인 알루미나 세라믹으로 제작된 이 플랜지는 견고함, 고온 저항 및 전기 전도성이 완벽하게 결합되어 있습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
더 읽어보기문의 보내기Semicorex SiC(탄화 규소) 공정 튜브 라이너는 고온 및 높은 순도가 요구되는 환경에서 반도체 생산에 중요한 구성 요소입니다. 이러한 SiC 공정 튜브 라이너는 극심한 열 조건을 견디고 높은 수준의 순도를 유지하여 반도체 제조 공정이 손상되지 않도록 특별히 설계되었습니다. Semicorex는 경쟁력 있는 가격으로 고품질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며, 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.
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