Semicorex는 4인치, 6인치, 8인치의 N형 SiC 잉곳을 제공합니다. 우리는 수년 동안 웨이퍼 제조업체이자 공급업체였습니다. 우리의 4" 6" 8" N형 SiC 잉곳은 좋은 가격 이점을 가지고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
4인치 N형 SiC 잉곳 사양 |
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항목 |
생산 등급 |
더미 등급 |
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폴리타입 |
4시간 |
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도펀트 |
n형 질소 |
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비저항 |
0.015~0.025옴·cm |
0.015~0.028옴·cm |
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지름 |
100.25±0.25mm |
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두께 |
≤15mm |
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표면 방향 오류 |
4°toward<11-20>±0.2° |
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기본 평면 방향 |
[1-100]±5.0° |
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기본 플랫 길이 |
32.5±1.5mm |
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보조 플랫 |
기본 ±5.0°에서 90.0°CW, 실리콘 페이스 업 |
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보조 평면 길이 |
18±1.5mm |
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마이크로파이프 밀도 |
0.5ea/cm2 |
≤10개/cm2 |
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BPD |
≤2000 개/cm2 |
-- |
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TSD |
≤500개/cm2 |
-- |
||||||
가장자리 균열 |
3개 1mm/개 |
≤5개 ≤3mm/개 |
||||||
폴리타입 영역 |
없음 |
≥5% 영역 |
||||||
모서리 들여쓰기 |
â¤3 eaï¼â¤1mm 너비와 깊이 |
â¤5 eaï¼â¤2mm 너비와 깊이 |
||||||
상표 |
C-페이스 |
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포장 |
단위 잉곳 카세트, 진공 포장 |
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6인치 N형 SiC 잉곳 사양 |
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항목 |
생산 등급 |
더미 등급 |
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폴리타입 |
4시간 |
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도펀트 |
n형 질소 |
|||||||
비저항 |
0.015~0.025 |
0.015~0.028 |
||||||
지름 |
150.25±0.25mm |
|||||||
두께 |
≤15mm |
|||||||
표면 방향 오류 |
4°toward<11-20>±0.2° |
|||||||
기본 평면 방향 |
[1-100]±5.0° |
|||||||
기본 플랫 길이 |
47.5±1.5mm |
|||||||
마이크로파이프 밀도 |
0.5ea/cm2 |
≤10개/cm2 |
||||||
BPD |
≤2000 개/cm2 |
-- |
||||||
TSD |
≤500개/cm2 |
-- |
||||||
가장자리 균열 |
3개 1mm/개 |
≤5개 ≤3mm/개 |
||||||
폴리타입 영역 |
없음 |
≥5% 영역 |
||||||
모서리 들여쓰기 |
â¤3 eaï¼â¤1mm 너비와 깊이 |
â¤5 eaï¼â¤2mm 너비와 깊이 |
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상표 |
C-페이스 |
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포장 |
단위 잉곳 카세트, 진공 포장 |
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8인치 N형 SiC 잉곳 사양 |
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항목 |
생산 등급 |
연구 등급 |
더미 등급 |
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폴리타입 |
4시간 |
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도펀트 |
n형 질소 |
|||||||
비저항 |
0.015~0.028 |
0.01~0.04 |
NA |
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지름 |
200.25±0.25mm |
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두께 |
NA |
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표면 방향 오류 |
4°toward<11-20>±0.5° |
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노치 방향 |
[1-100]±5.0° |
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노치 깊이 |
1~1.5mm |
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마이크로파이프 밀도 |
¤2개/cm2 |
≤10개/cm2 |
≤50개/cm2 |
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BPD |
≤2000 개/cm2 |
≤500개/cm2 |
-- |
|||||
TSD |
≤500개/cm2 |
≤1000개/cm2 |
-- |
|||||
가장자리 균열 |
3개 1mm/개 |
≤4개 ≤2mm/개 |
≤5개 ≤3mm/개 |
|||||
폴리타입 영역 |
없음 |
â¤20% 면적 |
â¤30% 지역 |
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모서리 들여쓰기 |
â¤3 eaï¼â¤1mm 너비와 깊이 |
â¤4 eaï¼â¤2mm 너비와 깊이 |
â¤5 eaï¼â¤2mm 너비와 깊이 |
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상표 |
C-페이스 |
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포장 |
단위 잉곳 카세트, 진공 포장 |