Semicorex는 4인치, 6인치, 8인치 N형 SiC 잉곳을 제공합니다. 우리는 수년 동안 웨이퍼 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 4" 6" 8" N형 SiC 잉곳은 좋은 가격 이점을 갖고 있으며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.
4인치 N형 SiC 잉곳 사양 |
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품목 |
생산 등급 |
더미 등급 |
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폴리타입 |
4시간 |
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도펀트 |
n형 질소 |
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비저항 |
0.015~0.025옴·cm |
0.015~0.028옴·cm |
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지름 |
100.25±0.25mm |
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두께 |
≥15mm |
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표면 방향 오류 |
<11-20>±0.2° 방향으로 4° |
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기본 평면 방향 |
[1-100]±5.0° |
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기본 플랫 길이 |
32.5±1.5mm |
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2차 아파트 |
1차측에서 90.0°CW ±5.0°, 실리콘 페이스 업 |
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보조 평면 길이 |
18±1.5mm |
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마이크로파이프 밀도 |
≤0.5개/cm2 |
10개/cm2 이하 |
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BPD |
≤2000개/cm2 |
-- |
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티에스디 |
≤500개/cm2 |
-- |
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가장자리 균열 |
3개 이하, 1mm/개 이하 |
5개 이하, 3mm/개 이하 |
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다형 영역 |
없음 |
≤5% 면적 |
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가장자리 들여쓰기 |
≤3개, ≤1mm 너비 및 깊이 |
≤5개, ≤2mm 너비 및 깊이 |
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상표 |
C-페이스 |
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포장 |
단위 잉곳 카세트, 진공 포장 |
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6인치 N형 SiC 잉곳 사양 |
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품목 |
생산 등급 |
더미 등급 |
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폴리타입 |
4시간 |
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도펀트 |
n형 질소 |
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비저항 |
0.015~0.025 |
0.015~0.028 |
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지름 |
150.25±0.25mm |
|||||||
두께 |
≥15mm |
|||||||
표면 방향 오류 |
<11-20>±0.2° 방향으로 4° |
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기본 평면 방향 |
[1-100]±5.0° |
|||||||
기본 플랫 길이 |
47.5±1.5mm |
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마이크로파이프 밀도 |
≤0.5개/cm2 |
10개/cm2 이하 |
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BPD |
≤2000개/cm2 |
-- |
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티에스디 |
≤500개/cm2 |
-- |
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가장자리 균열 |
3개 이하, 1mm/개 이하 |
5개 이하, 3mm/개 이하 |
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다형 영역 |
없음 |
≤5% 면적 |
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가장자리 들여쓰기 |
≤3개, ≤1mm 너비 및 깊이 |
≤5개, ≤2mm 너비 및 깊이 |
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상표 |
C-페이스 |
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포장 |
단위 잉곳 카세트, 진공 포장 |
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8인치 N형 SiC 잉곳 사양 |
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품목 |
생산 등급 |
연구등급 |
더미 등급 |
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폴리타입 |
4시간 |
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도펀트 |
n형 질소 |
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비저항 |
0.015~0.028 |
0.01~0.04 |
저것 |
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지름 |
200.25±0.25mm |
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두께 |
저것 |
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표면 방향 오류 |
<11-20>±0.5° 방향으로 4° |
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노치 방향 |
[1-100]±5.0° |
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노치 깊이 |
1~1.5mm |
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마이크로파이프 밀도 |
≤2개/cm2 |
10개/cm2 이하 |
≤50개/cm2 |
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BPD |
≤2000개/cm2 |
≤500개/cm2 |
-- |
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티에스디 |
≤500개/cm2 |
≤1000개/cm2 |
-- |
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가장자리 균열 |
3개 이하, 1mm/개 이하 |
4개 이하, 2mm/개 이하 |
5개 이하, 3mm/개 이하 |
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다형 영역 |
없음 |
20% 이하 면적 |
≤30% 면적 |
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가장자리 들여쓰기 |
≤3개, ≤1mm 너비 및 깊이 |
≤4ea, ≤2mm 너비 및 깊이 |
≤5개, ≤2mm 너비 및 깊이 |
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상표 |
C-페이스 |
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포장 |
단위 잉곳 카세트, 진공 포장 |