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6인치 반절연 HPSI SiC 웨이퍼
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6인치 반절연 HPSI SiC 웨이퍼

Semicorex는 다양한 유형의 4H 및 6H SiC 웨이퍼를 제공합니다. 우리는 수년 동안 실리콘 카바이드 제품의 제조업체이자 공급업체였습니다. 당사의 이중 광택 6인치 반절연 HPSI SiC 웨이퍼는 가격 이점이 뛰어나며 대부분의 유럽 및 미국 시장을 커버합니다. 우리는 중국에서 당신의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다.

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제품 설명

Semicorex는 N형, P형 및 고순도 반절연 웨이퍼가 있는 4H 및 6H 기판을 포함하여 완전한 실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼 제품 라인을 보유하고 있으며 에피택시가 있거나 없을 수 있습니다.

당사의 6인치 반절연 HPSI SiC 웨이퍼의 6인치 직경은 MOSFET, 쇼트키 다이오드 및 기타 고전압 응용 제품과 같은 전력 전자 장치 제조를 위한 넓은 표면적을 제공합니다. 6인치 반절연 HPSI SiC 웨이퍼는 주로 5G 통신, 레이더 시스템, 안내 헤드, 위성 통신, 전투기 및 기타 분야에 사용되며 RF 범위 향상, 초장거리 식별, 방해 전파 방지 및 높은 이점이 있습니다. - 속도, 고용량 정보 전송 응용 프로그램은 마이크로파 전원 장치를 만드는 데 가장 이상적인 기판으로 간주됩니다.


명세서:

â 직경: 6â³

â이중 광택

â 등급: 생산, 연구, 더미

â 4H-SiC HPSI 웨이퍼

두께: 500±25μm

â 마이크로파이프 밀도: ¤1 ea/cm2~ ≤15개/cm2


항목

생산

연구

가짜의

수정 매개변수

폴리타입

4시간

축상의 표면 방향

<0001>

축에서 벗어난 표면 방향

0±0.2°

(0004)FWHM

â¤45arcsec

≤60arcsec

â¤1OOarcsec

전기적 매개변수

유형

HPSI

비저항

≤1 E8ohm·cm

100% 면적 > 1 E5ohm·cm

70% 면적 > 1 E5ohm·cm

기계적 매개변수

지름

150±0.2mm

두께

500±25μm

기본 평면 방향

[1-100]±5° 또는 노치

기본 플랫 길이/깊이

47.5±1.5mm 또는 1 - 1.25mm

TTV

â¤5μm

~10μm

≤15μm

LTV

3μm(5mm*5mm)

≤5μm(5mm*5mm)

10μm(5mm*5mm)

절하다

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

경사

≤35μm

≤45μm

≤55μm

정면(Si-face) 거칠기(AFM)

Raâ¤0.2nm (5μm*5μm)

구조

마이크로파이프 밀도

â¤1개/cm2

≤10개/cm2

≤15개/cm2

탄소 함유 밀도

â¤1개/cm2

NA

육각형 보이드

없음

NA

금속 불순물

≤5E12atoms/cm2

NA

전면 품질

앞쪽

표면 마감

사이페이스 CMP

입자

≤60ea/wafer (크기 ≤0.3μm)

NA

흠집

≤5ea/mm. 누적 길이 ¤Diameter

누적 길이 ¤300mm

NA

오렌지 껍질/구멍/얼룩/줄무늬/균열/오염

없음

NA

에지 칩/인덴트/파손/육각 플레이트

없음

폴리타입 영역

없음

누적 면적 ¤20%

누적 면적 ¤30%

전면 레이저 마킹

없음

백 품질

후면 마감

C-페이스 CMP

흠집

â¤5ea/mm,누적길이 ¤2*Diameter

NA

후면 결함(가장자리 칩/인덴트)

없음

뒷면 거칠기

Raâ¤0.2nm (5μm*5μm)

백 레이저 마킹

"두 가구 연립 주택"

가장자리

가장자리

모따기

포장

포장

진공 포장으로 Epi-ready

멀티 웨이퍼 카세트 패키징

*참고: "NA"는 요청 없음을 의미합니다. 언급되지 않은 항목은 SEMI-STD를 나타낼 수 있습니다.




핫 태그: 6인치 반절연 HPSI SiC 웨이퍼, 중국, 제조업체, 공급업체, 공장, 맞춤형, 대량, 고급, 내구성

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