알루미나 세라믹 조작기

알루미나 세라믹 조작기알루미나 세라믹 포크 및 웨이퍼 핸들링 엔드 이펙터라고도 합니다. 웨이퍼 핸들링 로봇에 설치되며 로봇의 손과 동일합니다. 반도체 웨이퍼를 운반, 운송 및 배치하는 데 사용됩니다.실리콘 웨이퍼다른 입자로 인한 오염에 매우 취약하므로 일반적으로 청결을 보장하기 위해 진공 환경에서 처리됩니다. 알루미나 세라믹 조작기는 음압 흡입을 사용하여 암의 신축, 회전 및 리프팅 동작을 통해 웨이퍼를 제거하고 반도체 웨이퍼를 운반합니다. 알루미나 세라믹 매니퓰레이터 내부에는 공기구멍과 통풍홈이 있어 공기를 펌핑할 때 진공을 형성할 수 있어 반도체 웨이퍼가 끼이거나 손상되지 않고 가벼운 접촉으로 반도체 웨이퍼를 흡착할 수 있습니다.

성분이 더 순수하다는 것은 잘 알려져 있습니다.알루미나 세라믹즉, 강도가 더 높아집니다. Semicorex 알루미나 세라믹 조작기는 고순도 알루미나 세라믹으로 만들어집니다. 그 결과 탁월한 기계적 강도와 경도가 얻어집니다. 내마모성은 강철 및 크롬강보다 훨씬 뛰어나 마찰이 큰 환경에서 시간이 지나도 표면 정확도를 유지하고 웨이퍼 긁힘 위험을 줄여 고정밀 핸들링에 이상적입니다. 이 알루미나 세라믹 조작기는 저항률이 높습니다. 뛰어난 전기 절연 특성으로 정전기 간섭을 효과적으로 방지하고 입자 흡착 위험을 줄여 깨끗한 웨이퍼 표면을 유지할 수 있습니다. 또한, 반도체 제조 공정에는 장비 내 복잡한 회로와 고전압 환경이 포함됩니다. 고저항 알루미나 세라믹 매니퓰레이터는 전류 전도를 효과적으로 차단하여 반도체 웨이퍼 핸들링 중 전기적 안전을 보장합니다. 알루미나 세라믹의 높은 내열성과 열 안정성 덕분에 매니퓰레이터는 반도체 열처리 공정 중에 변형이 거의 없으며 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있고 열 변형으로 인한 정밀 편차를 방지할 수 있습니다. 또한, 화학적 안정성이 우수하고 산, 알칼리, 용탕 등에 대한 부식에 대한 저항성이 매우 높은 소재입니다. 다른 물질과 반응하여 오염 입자를 방출하기가 쉽지 않으며 화학적 오염으로부터 반도체 부품을 효과적으로 보호할 수 있습니다.